中古 LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX #9213369 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTXは、量産型半導体製造設備向けに設計された高精度の自動エッチャー/アッシャーです。ハンドリング、イントロダクション、コーティング、エッチング工程を最適化し、ウェーハの高スループット化を実現します。全面的な装置は統合されたasherおよび暖房/冷却機能の個々の制御単位を含んでいます。制御ユニットには、精密プロセス制御用のプログラマブルロジックコントローラ、電気機械弁、反応ガスおよびプロセスガスを導入および管理するためのガスパネル、および高速リフティングシステムが含まれています。個々のアッシャーは、X軸ステージングユニットによって運ばリフト上に配置されたプラットフォームで構成されています。リフトはプラットフォームを垂直に移動し、X軸ステージングマシンはプラットフォームをプロセスチャンバー全体に移動します。Alliance A6 TCP 9408は、LAM RESEARCH EECO-GATE Precision Tuning Tool、 pilot asher a3、 Auto-Pilot Asherプロセスソフトウェアなどの高度なプロセス制御技術を備えています。EECO-GATEアセットは、RFパワーを最適化し、エッチングプロセスの反復可能かつ反復可能なリピートを可能にします。パイロットアッシャーa3モデルは、プロセスパラメータを完全に独立して制御することができ、エッチングプロセスが各ウェハで再現可能で再現性があることを確認します。Auto-Pilot Asherプロセスソフトウェアは、プロセス制御において重要な役割を果たし、RF電源の自動補正、エッチング速度、流量、およびその他のプロセス変数などのプロセスオートメーションを可能にします。Alliance A6 TCP 9408には、統合された冷却/加熱装置も含まれており、プロセスゾーンの正確な温度制御を可能にし、エッチング処理が必要な温度範囲内で行われるようにします。この機械には電極交換システムも含まれており、手動で介入することなく、さまざまなジョブや異なるウェーハの電極を迅速に置き換えることができます。さらに、Alliance A6 TCP 9408には、安全インターロックユニット、消火装置、緊急遮断バルブツールなど、いくつかの安全機能が装備されています。機械のフィルター資産は、プロセス環境を汚染から保護するように設計されています。要約すると、Alliance A6 TCP 9408 PTXは、ウェーハプロセスのシームレスで反復可能なリピートを可能にするように設計された強力なエッチャー/アッシャーです。この機械にはいくつかの先進的なプロセス制御技術と安全機能が搭載されており、量産半導体の製造ニーズに信頼できる選択肢となっています。