中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX #9266046 を販売中

ID: 9266046
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8" Integrated gas panel PM1: Microwave PM2: 9600 PTX PM3:9600 PTX PM4: Microwave PM5: Aligner PM6: Cool station Electrostatic chuck Turbo pump Turbo gate valve: VAT65 Photodiode endpoint detection system Gases: N2, O2, BCL3, CHF3, CL2, AR CD ROM Manuals included Mainframe Robot MAG7 Dual blade VCE6, Rotation, with dynamic seal Signal lamp tower Turbo Pump: PM1: NA PM2: SEIKO SEIKI H1303CV3 PM3: SEIKO SEIKI H1303CV3 PM4: NA RF/ Microwave generator: PM1: MKS CPS PM2: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM3: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM4: MKS CPS.
LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTXは、デバイスメーカーがより高い歩留まりとより高い性能を持つ複雑な不揮発性メモリチップを作成できるようにするために作成された高度な物理蒸着(PVD)およびエッチング技術です。Alliance A6 9608 PTXは、広い垂直範囲で、デバイスの製造ニーズを満たすためにさまざまな専用モジュールを提供し、集積回路を高速かつ高精度に設計できます。LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTXは、物理蒸着(PVD)から化学エッチングまで、不揮発性メモリチップの製造に不可欠な真空プロセス能力を備えています。これにより、チャンバー圧力や温度などのプロセス条件を正確に制御し、蒸着速度と均一性を制御できます。これらの機能により、デバイスメカニズムをレイヤー間で正確にエッチングして正確に制御することができ、手作業によるコストと時間のかかる調整が不要になります。さらに、このシステムには温度プログラミング、チャンバーおよびプロセス部品への損傷を防ぐための保護装置が装備されています。これにより、プロセス条件の簡単かつ正確なチューニングが可能となり、歩留まりが向上し、汚染のリスクが低減されます。さらに、高度な制御性を備えたAlliance A6 9608 PTXは、立体的な輪郭を持つ困難な構造を製造するために使用することができます。これは、ナノスケールのメモリチップなどの複雑なアーキテクチャを構築するために使用することができます。LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTXは、高効率ロボットサンプル処理とスリット/ソースゾーンも備えています。この機能は、適切な量のサンプルを高精度かつ高速に処理するために提供されます。ロボットハンドラは、オペレータがスムーズな操作と効率を確保するために、さまざまなプロセス手順を制御する中央制御システムにリンクされています。結論として、Alliance A6 9608 PTXは、複雑な不揮発性メモリチップの製造を必要とする人々のための最高レベルのエッチャーおよびアッシャーです。統合された真空プロセス機能、温度安全プログラミング、洗練されたロボットサンプル処理により、より短い時間枠で精度と制御性を提供し、古いシステムよりも高い歩留まりとパフォーマンスを実現します。
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