中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9354470 を販売中
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ID: 9354470
ウェーハサイズ: 8"
Etcher, 8"
Install type: Through the wall
Integrated gas panel
No SMIF
PM 1: Microwave
PM 2: 9600 PTX
PM 3: 9600PTX
PM 4: Microwave
PM 5: Aligner
PM 6: Cool station
Electrostatic chuck
On process turbo pump channels
VAT65 Turbo gate valve
Endpoint detection system
Photodiode endpoint
End point 1 P/N: 853-540066-011
CD Rom manuals
Alliance mainframe:
MAG7 Robot
Dual blade
Rotational VCE6 with dynamic seal
Signal lamp tower
Gate valve: Heated (PM2, PM3)
Turbo pump (PM2 and PM3):
SEIKO SEIKI H1303CV3 Turbo pump
RF / Microwave generator:
MKS CPS PM 1 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 2 Top
ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM 2 Bottom
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 3 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 HALOPM 3 Bottom
MKS CPS PM 4 Top
Chiller:
One/Two cooling channels
Quantity: Up to 4
Gas box configuration:
PM1:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
PM2:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / STEC / - / - / BCL3
2 / STEC / - / - / CL2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM3:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / BCL3
2 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / CL2
3 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2900M / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM4:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
No standard manuals.
LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、ユーザーに最高の精度と効率を提供するように設計された、高度な技術に基づいた完全に自動化された急速な熱処理装置です。このシステムは、25°C〜900°Cの温度範囲で動作し、+/-5°Cの優れた温度均一性を提供します。つまり、加熱と冷却の間、処理チャンバ内の環境が一貫したままになります。温度安定性により、あらゆる温度および基板の組み合わせで最適なエッチングまたはアッシング性能が保証されます。このユニットには、フレキシブルなレシピ制御を提供する直感的な組み込み制御マシンが装備されており、大気、加熱速度、冷却、エンドポイント補正、および他の多くのプロセスパラメータの統合を可能にします。この制御ツールは、必要に応じてこれらのプロセスパラメータを動的に調整することもできます。このアセットは、直径100mmのプロセスチャンバーサイズと8インチまたは12インチの基板サイズで、一度に最大6つの基板を処理することができ、より高いスループット容量を実現します。チャンバーはエッチングおよび酸化プロセスを実行するように設計されており、ユーザーがチャンバーカバーを開くことなく作業の進捗状況を明確に表示できるように、石英ウィンドウビューアも装備されています。アライアンスA6 9600急速熱処理モデルは、正確な温度安定性を達成し、その基板を処理する際に最大の効率と性能を達成するために探しているユーザーのための理想的なソリューションです。
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