中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9296417 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、市場で最も先進的なエッチング/アッシャーの1つです。非常に高品質なエッチング/アッシュウエハを製造できるため、半導体業界での使用に最適です。装置は2つの主要な部品から成っています：主要な部屋およびプロセス部屋。メインチャンバーには、RFソース、プロセスコントロール、電源など、機械に必要なすべてのコンポーネントが収納されています。一方、プロセスチャンバーはエッチング/アッシングが発生する領域です。A6 9600は、低周波（100kHz）および高周波（4。2MHz）のRF処理が可能で、ディープエッチングやイオン爆撃など、さまざまなプロセス能力を備えています。このシステムは、高度なRFモニタリングを使用して、エッチング/アッシングプロセスを正確に制御します。また、ユニットはRFソースで最大900ワットの電力を達成することができます。これにより、ウェーハを正確かつ迅速にエッチング/アッシュすることができます。A6 9600は、自動真空シールドマシン、特許取得済みの熱監視ツール、ドアシャッターロックなど、最新の安全機能を備えています。安全機能は、エッチング/アッシングプロセスが安全であり、潜在的な事故を防止するように設計されています。このアセットには、パラメータを設定してプロセスを監視するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスもあります。これにより使いやすく、最小限のスペースを確保できます。また、最大10個のレシピを保存できる強力なデータロギング機器を含む、高度なデータ処理機能を備えています。全体として、Alliance A6 9600は、最小限の労力で優れたエッチング/アッシング結果を提供する高度なエッチング/アッシャーシステムです。最新の安全機能、高度なRF監視、使いやすいグラフィカルインターフェイスを備えています。このユニットは、高品質で信頼性の高いエッチング/アッシング結果をお探しの方に最適です。