中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9276388 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、高度な半導体デバイス製造のための高精度エッチングおよびアッシュ装置です。このシステムは、シリコンウェーハ、金属、誘電体など、さまざまな基板に対して精密で再現性があり、信頼性の高いエッチングおよびスカベンギング操作を提供します。高いエッチング率と精度を必要とする誘電エッチング用途に使用するために設計されています。このユニットには、高度な技術機能と直感的なユーザーフレンドリーな制御オプションが装備されており、優れた製品性能と柔軟性を提供します。アライアンスA6 9600は、高精度のマスフロー制御を備えたインラインテトラフルオロメタン（CF4）エッチチャンバーを備えており、最大250mm/秒のエッチレートで高繰り返し可能なエッチプロファイルと高解像度2。5mm x 2。5mmのパッチサイズを提供します。最適化されたデジタル充電中和マシンは、優れた酸化コンプライアンスを保証し、酸化ドリフトを削減し、2V範囲内±維持します。エッチツールには、プロファイルコントロールを自動化した8点の環状ガウス電子ビーム源と、最大0。02 μ mの線幅を生成できる高分解能パターンジェネレータを備えており、小型デバイス機能の大量生産に適しています。アセットには、最大2800°Cの温度制御を提供する6インチのデュアルゾーン真空アッシュチャンバーを備えた統合アッシュモデルと、迅速なウェーハスループットと基板の互換性を実現する8ガス混合供給装置が含まれています。さらに、エンドポイント精度を向上させ、フォトレジスト選択性を最適化し、アルカリ灰汚染を排除する統合水素制御ユニット（HCS）を提供しています。LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、ハイエンド半導体デバイス製造に必要な全機能を提供します。このマシンは、プロセスの互換性、生産性、均一性制御、およびスループットに最適化されているため、ウェーハからウェーハ、ロット、ロットに至るまで、高速で正確で繰り返し可能なエッチング結果を得ることができます。