中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9121855 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、基板ウェハの信頼性の高い処理を提供するように設計された高度なエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、同じユニット内でエッチングとアッシングの両方のプロセスを実行することができ、デバイスの効率的な生産を可能にします。このユニットは量産に適しており、シリコン、ガリウム-ヒ素、ポリシリコン層など多種多様な基板で使用できます。A6 9600のエッチング機能は、高品質のデバイスを作成するための材料除去を正確に制御します。高度なエンドポイント検出機能により、エッチング処理が迅速かつ正確に完了します。超短パルス技術を使用しているため、プロセスも非常に均一です。さらに、機械に調節可能なパワーレベルがあり、さまざまな材料タイプに対応し、特定のアプリケーションに合わせて調整することができます。アッシング機能は、基板表面から金属汚染物質を除去するために重要です。A6 9600は、活性酸素アッシングを使用してエッチング基板の状態を最適化します。このプロセスは効率的で再現性が高く、信頼性の高い結果を提供します。A6 9600には、汎用性と強力なツールになるいくつかの補助機能も含まれています。それは安全で信頼できるプロセスを保障する作り付けのガス管理モジュールが装備されています。さらに、アセットは非常にコンパクトで、動作する床面積が限られているため、スペースが限られた設置に最適なソリューションです。さらに、このモデルは他のAM Research機器と完全に互換性があり、既存の生産ラインに簡単に統合できます。全体として、アライアンスA 6 9600は、常に一貫した信頼性の高い性能を提供する高度なエッチングおよびアッシング装置です。優れた精度で様々な材料に優れた結果を出すことができ、幅広い用途に適しています。さらに、このユニットは最大効率のために設計されており、床面積を最小限に抑える必要があるため、量産に最適です。