中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9104047 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、高度に専門化されたアプリケーションに優れた性能を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。エッチング能力を向上させる真空システムと、高度な物理蒸着アプリケーション用のRF RF電源を備えています。また、A6 9600は高度なユーザーインターフェイスを備えており、取り扱いが容易で信頼性の高い操作が可能です。A6 9600の中心には、強力なマルチビーム電子ビームリソグラフィ（MEBL）システムがあります。このユニットは、印象的な速度で高解像度のパターンを作成することができる電子ビームカラムのいくつかのペアで構成されています。インバーメッシュシャッターを搭載し、精度を高め、優れたパターン忠実度を提供します。さらに、最先端のビーム偏向機能と高度なマスキング機能を備えており、より高速な処理を可能にします。アライアンスA6 9600は、精密エッチング用途にも十分に装備されており、優れたプロセス制御と精密エッチング速度を提供するプロセスチャンバーを備えています。また、非常に細かいフィーチャーサイズを含む可能性のあるエッチングパターンを生成することもできます。エッジバイアスコントロール、マルチチャネル/チャンネルバーコントローラ、温度制御などの追加機能も、エッチング性能の向上に貢献します。A6 9600には、高圧アルゴンイオン蒸着やスパッタコーティングなど、物理蒸着のための複数の技術も含まれています。これらの技術は、フォトリソグラフィープロセスを使用せずに複雑な多層構造を作成するために、金属や様々な誘電体を含むさまざまな基板をコーティングするために使用されます。さらに、このマシンには高度なRF RF電源が装備されており、幅広い材料とガスのバージョンとの互換性を提供します。LAM RESEARCH Alliance A6 9600は、さまざまな業界で最も要求の厳しいアプリケーションを処理するように設計された、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャツールです。強力なMEBLシステムと様々な成膜・エッチング技術を搭載しており、高精度の微細加工プロジェクトに最適です。さらに、高度なユーザーインターフェイスにより、操作とデータ分析が容易になり、ユーザーは単一のマシンを通じて正確な制御を可能にします。