中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX #9025958 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTXは、高密度プラズマ技術を利用して、エッチプロセス化学の精密かつ再現可能な制御を可能にするエッチャー/アッシャー装置です。このエッチャー/アッシャーは、シリコン、ゲルマニウム、GaAs、 SiO2、 SiGeなどの化合物半導体、および金属、セラミックス、ポリマーなどの硬質基板など、さまざまな材料の高速で効率的で精密なエッチングを提供するように設計されています。LAM RESEARCH ALLIANCE A6-9600PTXには、25kHzのスキャン速度が可能なマイクロメートルレベルの解像度スキャンシステムも搭載されています。この高速スキャンユニットは、高精度で再現性の高い可変エッチング深度、角度、幅を可能にするように設計されており、高アスペクト比の高精度エッチング用途に特に適しています。さらに、ALLIANCE A6 9600PTXは、人員とデバイス自体を保護するための洗練されたハザードコントロールマシンで設計されています。ガスシャットオフセンサー、不活性パージガスデリバリーツール、圧力コントローラを備え、安全でクリーンな動作を保証します。ALLIANCE A6-9600PTXには、より広範囲のエッチング化学物質を利用できるように設計された可変温度ガス輸送資産も付属しています。Alliance A6 9600 PTXは、複数のプロセス工程を必要とせずに効率的なアッシングを可能にするように特別に設計されています。アッシャーは高密度プラズマを使用して、表面全体に均一なエッチング速度を確保し、アッシング工程中の変形を排除します。このモデルはまた、統合されたプラズマフィードバック制御装置を使用し、エッチング速度とプロセスの再現性を正確に制御します。コンパクトなサイズのLAM RESEARCH ALLIANCE A6 9600PTXは、実験室環境に最適で、効率的で簡単に動作できるように設計されています。etcher/asherシステムには直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、必要に応じて素早くパラメータを設定および変更できます。これらの機能はすべて、LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTXを費用対効果が高く効率的なエッチングとアッシングに最適な選択肢にします。