中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9296416 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9400は、半導体デバイス製造のための幅広いタスクを処理するように設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。特許技術を活用して、優れたプロセス制御、スループットの向上、エッチングおよびアッシングプロセスの歩留まりの向上を提供します。A6 9400シリーズは、最大100cm2のウェーハ容量で、エッチング/アッシュプロセス要件のフルレンジをサポートできます。A6 9400は、プロセスの精度と均一性を確保するために、複数の自動機能を備えた大型の堅牢なエッチャー/アッシャーです。それはデジタル制御弁とガスの流れを正確に制御するのに乾式ガス配達（DOGD）の技術を使用します。これは、エッチングプロセスのためのクリーンで安定したガス環境を提供します。また、精密な温度制御のための非接触熱電対も内蔵しています。また、高速フラッシング装置を使用して、サンプル処理時間を短縮します。A6 9400は、スループットを向上させ、エッチング時間を短縮するための高速システム構成を備えています。これには、マスキングとエッチングを強化するための高解像度の300ワットのRFジェネレータ、プラズマ分野の均質性を向上させるための高精度、高速、レーザチューニングユニット、ビームシェーピングを最適化するための高速スキャン技術が含まれます。このマシンには、再現性とデータトレーサビリティのための高度なコンピューター制御とレシピストレージ機能も含まれています。A6 9400は、直感的な操作ツールとタッチスクリーンコントロールパネルを備え、設定と操作が簡単に行えるように設計されています。アセットは、カスタマイズ可能なパラメータと設定で、特定のエッチング/アッシュ要件を満たすように簡単に設定できます。パススルーエアロック保護、調整可能な露出限界を持つリアルタイム計測、大気モニタリングモデルなど、包括的な安全機能を備えています。アライアンスA6 9400は、優れたプロセス制御、スループットと歩留まりの向上、および簡単な操作を提供するように設計された、信頼性の高い高度なエッチャー/アッシャーです。特許技術とカスタマイズ可能な機能を利用して、効率的で効果的な半導体デバイス製造のための幅広いエッチング/アッシュ要件をサポートします。