中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9132995 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9400は、高度な基板の大量処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチング、蒸着、剥離、酸化のための汎用性の高いツールです。セラミックフィルム、金属、シリコンウェーハなど多種多様な材料の加工が可能です。A6 9400には、最適化されたエッチングおよび蒸着プロセスのための高度な真空制御、熱制御、およびプラズマソース技術が搭載されています。真空圧力と基板温度の範囲を基板に適用して、最適なエッチングと成膜結果を保証することができます。エッチプロファイルは、ハイエンドガスリングと流量制御を使用して制御および最適化されます。また、基板の積み降ろしを容易にするための高度な基板ホルダー設計を備えています。この装置には、クローズドループ熱制御システムを備えた熱源、設定可能なガスパネル、エッチングレートモニターなど、さまざまなオプションのアクセサリーが装備されています。これにより、ユーザーは特定のアプリケーション用にユニットをカスタマイズできます。このマシンは、XRP 4。1の高度なプラズマソースでアップグレードして処理を改善することもできます。操作面では、ユーザーインターフェイスはユーザーフレンドリーであり、エッチングおよび蒸着プロセスの簡単なセットアップ、監視、および制御を可能にします。また、ユーザーが許可なしにツールにアクセスできないようにするための安全なパスワード保護も含まれています。アセットは、プロセスのパフォーマンスを確保するためにエッチャー/アッシャーを継続的に監視する高度な「健康モニター」によって裏付けられています。これにより、ユーザーはパフォーマンスの問題をすばやく検出して修正できます。機種の安全運転を確保するために、さまざまな安全機能も搭載されています。アライアンスA6 9400は、高度な基板のための効果的なエッチングと蒸着ソリューションです。直感的なユーザーインターフェイス、多彩な処理機能、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。オプションのアクセサリーとアップグレードで、特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズできます。