中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9050180 を販売中
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ID: 9050180
TCP Etcher. 6"
Robot: Brooks Magnatran 7
Process Module 1:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 2:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 3:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Gas box:
Modular gas box
Remote power module.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400は、精密エッチングおよびアッシング用に特別に設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。シリコン、SiO2、 II-VI化合物、低k誘電体、III-V化合物などの温度に敏感な材料の処理に適しています。このシステムは高度に構成可能であり、さまざまな寸法のウェーハを処理できる幅広いrfソースとプロセスガスソースが付属しています。ロードロックモジュール、サーマルチャンバー、統合ウエハチャック、マルチゾーンヒーター、真空ポンプを備えています。ロードロックモジュールには、自動負荷および非負荷機械を備えた負荷チャンバ、負荷チャンバ内の基板フォーカシングツール、およびガスパネルと排気ファンを内蔵した排気資産が含まれています。熱室は独立したチャンバーとヒーターモジュールで構成されています。ヒーターモジュールは一定の望ましい状態で部屋の温度を維持することができます。これは、処理温度中にウェーハが劣化するのを防ぐために不可欠です。統合された基板チャックは、基板の手動ロードとアンロードの必要性を排除します。このオートメーションは、エッチングの均一性と再現性を向上させるのに役立ちます。このモデルは、専用のエレクトロニクスキャビネットを搭載し、タッチセンシティブGUIを使用して動作します。GUIは、レシピ作成、リアルタイムデータ表示、イオンソースチューニング、チャンバー圧力の表示など、さまざまな機能を提供します。また、プログラム可能なプロセス制御と集中ステーションからの監視も可能です。この装置は、Adaptive Process Control （APC）モジュールとAdvanced Process Containment （APC）システムとも統合されています。APCモジュールは、測定フィードバックデータに基づいてエッチプロセスパラメータを自動調整することができ、最高の精度で一貫した結果を保証します。APCシステムは、プロセスドリフトとプロセスバリエーションの影響を最小限に抑えるのに役立ちます。アライアンスA 6 9400は、比類のない精度と汎用性を提供する最先端のエッチャー/アッシャーユニットです。これは、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシング条件下で最適な精度と性能を提供するように設計されています。その高度な自動化と制御機能は、エッチングやアッシングのアプリケーションに不可欠なツールです。
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