中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9038352 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9400は、スパッタ蒸着装置の一種であるエッチャー/アッシャーです。このシステムは、静電容量結合無線周波数（RF）電力を使用して、金属の薄い層を基板にスパッタします。Alliance A6 9400は、均一なフィルムコーティングを高速で製造できる高スループットユニットです。このマシンは、RF電源、不活性プラズマ、真空チャンバーを備えた2チャンバー構成です。エッチャーチャンバーには、RF電源に接続されているRF電極が収納されています。チャンバー内のRF電源は電源によって制御され、所望のエッチングプロセスに従って所望のエッチングパラメータに調整されます。不活性プラズマはチャンバー内で活性化され、反応ガス中の金属イオンを活性化するために使用されます。材料はイオン爆撃の結果として基質に放出され、RF力はスパッタメタルフィルムの均一な沈着を促進するために調節されます。真空チャンバは、低圧での蒸着プロセスのための環境を提供し、2つのチャンバは、エッチングと真空チャンバ間の圧力差動を維持するためにリンクされています。LAM RESEARCH Alliance A6 9400には、エッチング処理中のフィルムの成長を監視する高度なマルチセンサーイメージングツールが装備されています。撮影した画像は、プロセス監視やトラブルシューティングに使用でき、コーティングの均一性を視覚的に表示できます。アセットには、エッチング速度とコーティングの均一性のフィードバックを提供するオープンループのプロセス制御も装備されています。Alliance A6 9400は、優れた性能を持つフィルムを製造することができる適応性の高いハイスループットエッチング/アッシャーです。その先進的な2チャンバ設計、オープンループのプロセス制御、およびイメージングモデルは、堆積プロセスを正確に制御し、望ましい結果をもたらす能力をユーザーに提供します。