中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #198258 を販売中

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フォト（写真） 使用される LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM 販売のために
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販売された
エッチャー／アッシャー
製造業者
LAM RESEARCH
モデル
Alliance A6 9400 DFM
ID: 198258
Poly Etcher, 8" (3) Chamber modules to include: (1) Model 9400PTX (2) Model 9400DFM (3) LAM Enhanced Research Lab Gas Boxes (1) Control Rack with Noah Precision Models PSC-8000 and PSC-4400 Modules (2) Edwards Dry Pump Systems Software: Envision Platform: Alliance A6 Process: poly Process modules: DFM Gas box style: external orbital gas box individual door Interface: front and rear Main frame: though the wall bulkhead Transport module spec: Robot: Mag 7 End effector: standard stainless steel Load lock: Brooks automatic Station 6: Aligner Process module 1: Process: poly etch Process module: DFM Turbo: Edwards 1600 seiko seiki Manometer: heated single 10 torr manometer Vat valve: vat 65 heated Rf match: standard TCP extended range match Coil: standard 8" coil Chuck: E-chuck standard bi-polar Rf generator: Halo 1250 Endpoint: verity end point No interferometer Pump ballast Aov85: yes Backside He manometers present Gas lines: non heated Process module 2 Process: poly etch Process module: DFM Turbo: Alcatel 1600m Manometer: heated single 10 torr manometer Vat valve: vat 65 heated Rf match: standard tcp exteneded range match Coil: standard 8" coil Chuck: E-chuck standard bi-polar Rf generator: Halo 1250 Endpoint: verity end point No interferometer Pump ballast Aov85: yes Backside He manometers: present Gas lines: non heated Process module 3 Process: poly etch Process module: DFM Turbo: Alcatel 1600m Manometer: heated single 10 torr manometer Vat valve: vat 65 heated Rf match: standard tcp exteneded range match Coil: standard 8" coil Chuck: E-chuck standard bi-polar Rf generator: Halo 1250 Endpoint: verity end point No interferometer Pump ballast Aov85: yes Backside He manometers: present Gas lines: non heated Pumps Edwards IQDP 80/500 Chiller Noah solid state Gas box Mfc Unit series with metal seals Includes: Gib options STD Stacking kit Gas box mounting location: remote Quick clean kit TCU hosing: 50ft TCU configuration: Noah solid state Operating temperature: 60 - 80c Tm exhaust: upper 2002 vintage.
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFMは、高度な機能を備えた業界をリードするエッチャー/アッシャーです。このマシンは、さまざまな構成に対応するように設計されており、2つの独立したプロセスモジュールを追加することで、優れた機能再現性を備えたコンポーネントとウェーハの正確なエッチングを可能にします。優れた均一性制御を備えた水平蒸着ツールは、半導体デバイス製造におけるウェーハの精密エッチングまたはアッシングに理想的なツールです。LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFMエッチャー/アッシャーは、1つのプロセスで高速ウェーハエッチングとアッシングが可能です。精密に0。05 µm/s以内の設定点監視レート（SPM）でエッチング処理を制御し、再現性を最大限に高めます。さらに、このマシンには最先端のソフトウェアと品質管理機能が含まれており、エッチングプロセスをリアルタイムで監視し、最大限の均一性を確保できます。Alliance A6 9400 DFMは、高効率の成膜ツールと強力なろ過能力を備えた高度な電子ビームおよびICPソースシステムで設計されており、非常に効率的で高品質な結果を提供することができます。リアルタイムデータキャプチャやプロセスパラメータのロギングなどの高度なハードウェア機能により、再現性が向上します。レイヤーコントロールシステムは、均一な制御とリアルタイム診断機能を備えているため、さまざまなハイエンドエッチングプロセスに最適です。ALLIANCE A6 9400DFMエッチャー/アッシャーは、さまざまなアプリケーションに合わせてカスタマイズできるさまざまなプロセスモジュールとオプションも提供しています。その高度なゲートおよびチャンバー保護ユニットは、高度な漏れ検出器とウェーハ保護モジュールによる最大の保護とライフタイムの信頼性を約束します。さらに、マシンはまた、効果的かつ効率的なメンテナンスを確保するために統合された機械診断機能を備えています。全体として、LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFMは、高度で信頼性が高く柔軟なエッチャー/アッシャーであり、優れたツール制御、再現性、精度を提供します。高出力のeビームおよびICPソースシステムは、優れた濾過およびプロセス制御機能を提供し、さまざまな半導体デバイス生産アプリケーションに最適です。その高度な資産診断とリーク検出モデルは、最大の保護と長い寿命を保証します。したがって、LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFMは、エッチング、アッシング、およびその他のさまざまなデバイス製造プロセスを制御および再現できる優れた選択肢です。
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