中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #121362 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFMは、さまざまな基板のエッチングとアッシングに最適なデバイスです。この高性能エッチャー/アッシャーは、1800 W RF電源を備え、最大9つの1000 mm x 400 mmウェーハを一度にエッチングおよびアッシーする機能を提供します。さらに、19インチのタッチスクリーンディスプレイ、高度なプロセス制御をサポートするモダンでユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。このシステムは、調整可能なアームを備えた余分な大きな負荷/アンロードポッドを備えているため、基板をデバイスに正確かつ簡単に配置できます。また、調整可能なマッチングを備えた強力なRFマッチングネットワークを備えており、高周波でも優れたエッチング性能を発揮します。LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFMには、LAMの高度なダイナミックフローモード（DFM）エッチング機能が搭載されており、サイドウォール角度とボトムエッチング深さを正確に制御できます。これにより、テーパの縮小とオーバーエッチングの低減により、より完全なエッチプロファイルが得られます。このエッチャー/アッシャーは、柔軟なガスシーケンシングを備えたガス化学プロセスの完全なスイートを提供し、プロセスプロファイリングオプションにより、異なる基材で同様の性能を発揮します。さらに、高流量シャワーヘッドアレイは、エッチングの一貫した均一性を保証します。このデバイスの冷却再循環プロセスチャンバーは、完全な過圧機能を備えているため、真空エッチング/アッシング用途に最適です。さらに便利に、Alliance A6 9400 DFMは遠隔監視とプロセス制御も提供しており、ユーザーはシステムをリモートで管理し、詳細なプロセスレポートを受け取ることができます。最後に、その強化された安全機能は、最新の安全ガイドラインおよびCEマーク規制に準拠しています。ALLIANCE A6 9400DFMは、高度な制御と精度で信頼性と一貫したエッチングとアッシングの結果を達成することができます印象的なエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、強力な機能、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、およびプロセス機能を兼ね備えているため、さまざまな基板をエッチングまたはアッシュするのに最適です。