中古 LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX #9309385 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTXは、半導体、MEMS/MOEMS、光学技術の複数のウェハ処理アプリケーションで使用できるエッチャー/アッシャーです。A6 9100 PTXは、より高いスループットと生産性を備えたクリーンなエッチングを提供するように設計されています。このシステムには、複数のフィラメントオプションを備えた高速で信頼性の高い前処理カセットが装備されており、ユーザーは特定のアプリケーションに基づいてフィラメントターゲット材料とサイズを変更することができます。また、A6 9100 PTXには2つの独立した負荷ポートが装備されており、大規模な生産のために効率的な積み下ろしを容易にします。A6 9100 PTXの柔軟なアーキテクチャにより、エッチングまたはアッシング用に構成可能な最大2つのチャンバを備えた複数のプロセス技術の交換が可能です。A6 9100 PTXシステムは、エッチングおよびアッシング用に最大3基板を搭載でき、基板サイズは200mmから300mmまでです。A6 9100 PTXのオートセンター機能により、基板と基板ホルダーの正確なアライメントが保証され、偏差誤差を中心にする可能性が低減されます。さらに、A6 9100 PTXは粒子発生を最小限に抑えるように設計されており、ULPAは0。3ミクロンで最低15原子質量単位に評価されています。A6 9100 PTXはまた、長期的に一貫したエッチング性能を実現するために、100時間の窒素スクラバーを自動化しています。さらに、エッチング温度を正確に制御し、+/-2°Cの精度で測定することができます。また、組込み診断ソフトウェアにより、非常に正確なプロセス制御と検証が可能になります。A6 9100 PTXには、システム制御および監視用の組み込みユーザーインターフェイスが含まれており、マシンのキーパッドから直接、または標準のWebブラウザからリモートでアクセスできます。統合されたユーザーインターフェイスを使用すると、ユーザーは簡単にエッチングおよびアッシングプロセスの圧力、質量、温度、およびその他の重要なパラメータを監視できます。A6 9100 PTXには、最高品質の結果を達成するための最適化されたパラメータを備えたさまざまな材料と基板をエッチングするためのレシピの完全なライブラリも含まれています。Alliance A6 9100 PTXは、柔軟性、効率性、品質管理を念頭に置いて構築された高性能エッチャー/アッシャーです。A6 9100 PTXは、200mm〜300mmのサイズ範囲の3つの基板を処理することができます。A6 9100 PTXの統合されたプリトレーティングカセット、オートセンタリング機能、および包括的なユーザーインターフェイスにより、エッチングとアッシングの信頼性と正確なツールとなります。