中古 LAM RESEARCH Alliance A4 #9195948 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4は、半導体デバイス製造の厳しい要求に応えるために設計された先進的なエッチング/アッシュ装置です。アライアンスA 4は、両面エッチングとアッシングのための密閉型プラットフォームを備えており、信頼性と費用対効果の高い高速で正確なウェーハ処理を提供します。このシステムは、正確で反復可能な結果を提供するように設計されています。これは、最適なエッチングとアッシング品質を確保するために、工程と性能センサーを内蔵した4ゾーンエッチングとアッシングチャンバーを備えています。LAM RESEARCH Alliance A4は、エッチング/灰プロセス中に異なるガス調理法を使用できるプログラム可能なガス反応要素も備えています。この機能により、ユーザーは特定の半導体デバイス設計要件を満たすようにエッチング/アッシュプロセスを調整できます。アライアンスA 4には、信頼性の高いウェハハンドリング用のロボットアームが含まれています。アームは、迅速かつ正確にウェーハをチャンバーに転送し、エッチング/灰ゾーン間で移動するようにプログラムすることができます。また、1ミクロンの粒状真空オーブンを内蔵し、アッシングを支援します。LAM RESEARCH Alliance A4は、ウェットおよびドライベンチエッチング、ドライアッシングなど、さまざまなエッチング/灰プロセスをサポートしています。このマシンは、リニアおよび回転モーターステージ、マスククリーニングシステム、マスクアライメントシステムなどの標準的な実験機器やアクセサリとの互換性を確保するために設計されています。さらに、基板加熱システム、プラズマ源、粒子検出器などの特殊なハードウェアとの統合も可能です。このアセットは、簡単なセットアップと操作を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。モデルはまた、完全なレシピとレシピのステップ編集を提供し、プロセス要件を満たすためにレシピを簡単にカスタマイズすることができます。Alliance A4はリモート監視をサポートしており、ユーザーはウェーハ処理結果をリアルタイムで表示および追跡することができます。LAM RESEARCH Alliance A4は、半導体デバイス製造の要求に応えるために設計された強力なエッチング/アッシュ装置です。プログラマブルなガス反応要素、ロボットアーム、直感的なユーザーインターフェースを備えたAlliance A4は、エッチングとアッシングのための効率的で信頼性の高いツールを提供します。