中古 LAM RESEARCH Alliance A4 #9114097 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4は、高度なエッチング/アッシュ処理ソリューションです。LAM RESEARCHのオールイオン製品の主力製品であり、挑戦的なエッチング/灰アプリケーションに対応しています。この製品は、前任者と比較して、より高速で均一性を向上させるように設計されています。これは、プロセス制御と再現性の最高度の基板の範囲をエッチングし、アッシングすることができる構成可能なインラインシステムです。それに高いスループットの生産を可能にするために、対角で11インチまで大きい基質のサイズを、収容できる大きい部屋のサイズがあります。アライアンスA 4には、高電圧でも低エネルギーのプラズマを生成できる高性能プラズマ源が搭載されています。スピードやプロセスパラメータを損なうことなく、エッチング/アッシュプロセス全体で優れた均一性を実現します。その構成可能なソース設計により、イオンソース形状と位置を変更して基板またはプロセス要件に適合させることができます。独自の「リアクティブイオンエッチング」機能により、ディープエッチングや高選択性アプリケーションに適しています。これにより、長距離イオン制御を使用して垂直方向に非常に均一な処理を行うことができます。LAM RESEARCH Alliance A4は、エンドポイント検出、ポストエッチング/アッシュプロファイリング、基板加熱および冷却、高解像度ChamberViewシステム、および完全に統合されたプロセス制御シーケンスなど、幅広いプロセス制御および監視オプションを備えています。また、シングルウェハツールとクラスタツールの両方で基板を処理し、生産性を向上させることができます。アライアンスA 4は、最も困難なエッチング/アッシュプロセスの収量を最大化し、スループットを向上させるように設計されています。ウエハファブオートメーションシステムと容易に統合でき、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を向上させる複数のオペレーションを実行できるように設計されています。このシステムは堅牢な材料で構築されており、あらゆる条件で最高のパフォーマンスと信頼性を実現します。これらの機能により、LAM RESEARCH Alliance A4は、お客様が最高レベルの製品とプロセス品質を達成するのに役立ちます。