中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9195945 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEは、高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャー機器です。プラズマエッチャーに代わる経済的な代替として、運用コスト/フットプリントの削減と安全上の危険性の低減を実現します。そのマルチチャンバー設計は、さまざまなエッチング用途に簡単で柔軟な構成を提供します。A4 9600SEエッチャーは、専用の高スループットエッチングおよびアッシング制御アルゴリズムを備えたプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えています。これは、システムのパフォーマンスのリモートアクセスと監視を可能にする統合されたWebサーバー/コントロールパネルで設計されています。PLCコントローラは手動介入の必要性を排除し、ユニットは完全に自動化され、同時に複数のプロセスを実行することができます。さらに、エッチングおよびアッシング工程の温度と圧力を厳密に制御し、シリコン基板とセラミック基板の両方を処理することができます。このマシンは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルソフトウェアで簡単なメンテナンスを提供し、すべてのスキルレベルの技術者やオペレータに最適です。安全警報のような組み込みの安全機能は、操作中のプロセス安全を確保するのに役立ちます。A4 9600SEはまた、処理中にエッチングガスを排出するための内部通気ツールを備えており、最大75の標準的なプログラマブルシーケンスを提供します。金属、半導体、メガネ、セラミックス、スピンオンフィルムなど、幅広い産業用エッチングおよびアッシング製品に適しています。革新的な回転昇華（RS）チャンバで設計されており、両面ウェーハ処理をサポートし、生産の柔軟性と効率性を提供します。結論として、LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEは、さまざまな基板に対して柔軟で費用対効果の高いエッチングとアッシングを提供する強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャー資産です。そのマルチチャンバー設計、直感的なソフトウェア、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス、内部通気モデル、高度な安全機能により、幅広いアプリケーションに最適です。