中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9161966 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEは、エッチャー/アッシャーであり、特に高度な半導体製造のために設計されたウェット酸化物エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、エッチングとアッシングという2つの独立した電気化学プロセスの組み合わせであり、それぞれに独自のプロセス制御と安全システムが統合されています。このユニットは、エッチングおよびアッシングプロセス全体にわたって高い精度と均一性を提供するように設計されています。また、高度なパフォーマンスコントロールを使用して、酸化結果が精密に制御され、ストリークフリーであることを保証します。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEは、エッチング処理に塩素ベースのソリューションを使用しています。塩素は、高純度の塩素ガスと水酸化ナトリウムの強力な緩衝溶液を含む電動液体供給機を介して供給されます。この塩素溶液は、高度な真空伝達システムを使用して真空中に配置された基板に特別に設計された反応チャンバを介してポンプで送られます。エッチング工程では、塩素イオンが半導体と反応して酸化物を形成します。酸化物の蓄積は、in-situ赤外線とarea detectorの組み合わせによって監視されます。アッシングプロセスは、特殊なガス混合物と一緒に電気アーク放電を利用します。この組み合わせは、酸化物層を蒸気に変えて原子炉室から取り除くホットプラズマストリームを生成します。プロセス中、酸化物は基板から蒸発し、アークとガス組成に電力を調整することによって調整することができます。アライアンスA 4 9600SEエッチャー/アッシャーツールには、温度、圧力、電流レベルを監視および制御する統合安全プロトコルなど、多くの安全機能が装備されています。この資産には、粒子レベル、圧力、光学エネルギー、電流などの環境条件を制御することにより、人員、材料、機器を保護するための措置も含まれています。ALLIANCE A4 9600 SEは、最適な動作と校正のために設計されており、先進的な半導体製造プロセスに業界をリードするパフォーマンスを提供します。エッチャー/アッシャーモデルは、卓越した制御、均一性、および精度を提供し、デバイスメーカーの競争を先取りするのに役立ちます。