中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098137 を販売中
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販売された
ID: 9098137
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Transport module, 8"
Wafer configuration: SEMI
VCE Doors: Automatic
VCE Seal: Bellows
VCE Platform: Cassette
Alliance remote AC box
TCU / Pumps remote AC box
Remote UI
Light tower: No
Cool station: No
Pumping configuration: Single
Gas panel: Integrated
Auxiliary equipment:
Chiller & monitor rack
Remote power module (RPM)
Integrated gas box
(4) Pumps
Monitor rack
Turbo control rack
(2) Chillers
AC Power box and other support components
EMO Cable length: Not included
No process modules included
1995 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEエッチャー/アッシャーは、最新の精密エッチングとアッシング技術を備えたカスタムデザインのマシンです。このエッチャー/アッシャーは、要求の厳しい製造プロセスに最適な高精度の部品を製造することができます。A4 9600SEは、2つの大きな作業面を備えたユニークな3軸デザインを備えているため、最も複雑なエッチング用途に適しています。この機械の設計には、部品の積み下ろしが便利な使いやすいフロントローディングデッキと、材料の過剰または過活性化を正確に防止するデュアルステージ温度制御システムが含まれています。A4 9600SEの精度と性能は最も重要であり、さまざまな材料や基板を扱うことができます。基板の両面にエッチングを施し、従来機に比べ加工時間を短縮しながら高品質を実現しています。さらに、このマシンは安全性と効率性のために設計されており、ユーザーと機器を損傷から保護する多くの機能を備えています。また、自動レシピベースのプログラミングと組み込みの自動レシピエディタを備えているため、エッチング性能を最適化するための設定やプログラムを簡単にカスタマイズできます。機械の他の特徴としては、機械洗浄やエッチング工程のガス流量を自動的に調節するガスラインシステム、有害溶剤を排除する2段階の高圧排気システムなどがあります。全体として、LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEエッチング/アッシングマシンは直感的で信頼性が高く、高性能です。これまで達成できなかった精度と性能を備えたAlliance A4 9600SEは、今後も精密エッチングアプリケーションの道をリードしていきます。
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