中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098133 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEは、半導体製造で一般的に使用される完全自動エッチャー/アッシャーです。この装置は、集積回路（IC）基板の精密化学機械平面化（CMP）平面化のための幅広いオプションをユーザーに提供し、金属、誘電体、ポリマーなどのさまざまな材料をエッチング（またはアッシング）することができます。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEは、パターン化されたICウエハまたは非接触型ICウエハに均一な化学反応を提供することができます。このシステムは、ケミカルデリバリーとリクラメーションユニット、ウエハハンドラ、ロボット/カセット処理機、ガス配送ツール、および複数のプロセスチャンバーなど、いくつかのプロセスモジュールとコンポーネントで構成されています。硫酸、過酸化水素、塩酸など、さまざまなエッチングおよびアッシング化学物質を供給するために、化学物質の配送および再生資産を構成することができます。ガスデリバリーモデルは、プロセスチャンバーの圧力と流量を制御し、酸素、窒素、塩素、フッ素などのプロセスガスを導入することができます。ウェーハハンドラはAlliance A4 9600SEの最も重要な部分であり、プロセスチャンバとロボット/カセット処理装置の間でウェーハを転送する責任があります。ウェハハンドラは「LaserLAB」と呼ばれる自社開発のソフトウェアパッケージを使用して制御され、温度、流量、圧力、プロセスガスへの曝露など、エッチングまたは灰プロセスに必要なパラメータを監視および調整することができます。ALLIANCE A4 9600 SEには、いくつかの安全統合機能があります。例えば、エッチングまたはアッシングの各チャンバーの上に緊急遮断スイッチが配置されており、過熱、高ガス圧、停電などの緊急事態が発生した場合に作動するように設計されています。さらに、この自動化システムは、環境から化学蒸気やプロセスガスを除去するための排気ユニットを組み込むことで、危険な化学物質やガスへの曝露リスクを最小限に抑えるように設計されています。全体として、LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEは、半導体製造のための幅広い材料の効率的かつ信頼性の高い処理をユーザーに提供することができる高性能、自動エッチングおよびアッシング機です。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEは、安全で信頼性の高いCMP処理プラットフォームです。