中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #293627729 を販売中
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ID: 293627729
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Etcher, 8"
Process: Metal etch / strip
(2) Chambers
(2) DSQ Strip chambers
(2) Noah 3300 chillers with controllers
(2) Cassette load / unload platens
8-Line gas box
Remote operator system
Remote gas box assembly
Remote power distribution box
Gas used: Boron trichloride, chlorine, sulfur hexafluoride, oxygen, nitrogen, argon
Operating system: Next 3.3
Does not include TM Robot
Missing parts:
Wafer aligner
VCE Board
VME Board
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEは、高スループット、信頼性、およびプロセスの柔軟性のために特別に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。シリコン、III-V半導体、ガラス、金属、セラミックスなど幅広い基板加工が可能です。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEは、垂直ウエハと水平ウエハの同時エッチングとアッシングを可能にするマルチチャンバー設計を特徴としています。これは、排他的なアッシングステーションを含む4つのプロセスチャンバーで構成されています。独自の「ターボ」モードは、エッチングとアッシングを高速化し、低温処理を可能にし、処理中の圧力ドリフトを低減します。また、大容量プロセスプログラムにより、スループットが高く、小規模生産と大規模生産の両方で再現可能な処理が可能です。Alliance A4 9600SEは使いやすく、直感的なオペレータインターフェースとマルチプロセスツールとの統合機能を備えています。さらに、高度なプロセスモニタリングおよび制御機能により、詳細なプロセスパフォーマンスフィードバックを提供し、必要なパフォーマンス結果に合わせてプロセスパラメータを手動または自動でチューニングできます。ALLIANCE A4 9600 SEエッチャー/アッシャーは高度にカスタマイズ可能で、ポストエッチクリーン、イオン源および電源パルス、基板追跡、プロセスログなど、さまざまなプロセス構成とオプションを提供します。ユーザーとプロセス機器を保護するために設計された安全機能と相まって、LAM RESEARCH Alliance A4 9600SEは、大量のエッチングおよびアッシング用途に大きな利点を提供します。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SEは、半導体製造プロセスのニーズに対応する独自の柔軟な処理環境を提供する高度なエッチャー/アッシャーです。マルチチャンバー設計、高速処理、直感的なオペレータインターフェース、カスタム構成により、高いスループットと信頼性を必要とする高度なプロセスに最適です。
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