中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9600 #9204633 を販売中
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販売された
ID: 9204633
Etcher
(4) Chambers
Alliance (A4) mainframe
(4) 9600 SE Process modules (Used for metal etch process)
VCE Robotic arm extend drives
Auto door option
Bellows style cassette / Platforms
Wafer aligner
LL Slide sensor
Pre-post alignment
Magnatran 7 robot
PM1 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU Chiller for ESC temperature control
Endpoint detector
With chan A-703 nm chan B 440 nm
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFC5 NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
PM2 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU chiller for ESC temperature control
Endpoint detector
With chan A-703 nm, chan B 440 nm
Endpoint monochonometer
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFCS NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
PM3 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU Chiller for ESC temperature control
Endpoint detector
With chan A-703 nm, chan B 440 nm
Endpoint monochonometer
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFC5 NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
PM4 Configuration:
Alliance 9600 SE:
Generator (X2): AE-RFG 1250
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP 1303C
Electrostatic chuck included
Upgraded VAT 65 pendelum throttle valve
NOAH 3500 POU Chiller for ESC temperance control
Endpoint detector
With chan A-703 nm chan B 440 nm
Endpoint monochonometer
Gases panel configuration:
Unit 1661 model MFC's (X6)
MFC1 SF6 200 sccm
MFC2 O2-Hi 50 sccm
MFC3 Ar 300 sccm
MFC4 O2-Lo 10 sccm
MFCS NF3 100 sccm
MFC6 N2 100 sccm (Spare)
System peripherals and ancillary components:
Remote AC box (RPM)
Gas boxes per chamber ((4) Stackable)
(4) NOAH POU Chiller model 3500
Cathode cooling and temperature control
Includes:
3500 Controller or equivalent
Auxiliary rack for controllers.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600は、大型基板の精密加工用に設計されたエッチャー/アッシャーモジュールです。トランスミッションスタイルのRFソース、4ゾーンボトムヒーティングプラテン、および高速で効率的な処理を可能にする大きなチャンバーを備えています。A4 9600は、金属エッチング、厚膜基板、誘電体フィルムなどの用途に最適です。金属の場合、A4 9600は200kHz〜1MHzのRF周波数で最大15w/cm2の電力密度と200〜400°Cの動作温度範囲を提供できます。これは、簡単なオペレータのセットアップを可能にする自動起動機能を備えています。さらに、A4 9600は、均一性、再現性、およびその他のプロセスパラメータを厳密に制御するために校正することができます。厚いフィルムの基質のために、A4 9600は400°Cまでの温度でエッチングできます。精密圧力制御機能により、微細な機能を実現するためにプロセスを微調整できます。また、従来のエッチングプロセスよりも厚い構造をエッチングすることができます。誘電体フィルムの場合、A4 9600は重要な特徴の制御と正確なエッチングに優れています。そのデュアルソース機能により、異なるフィルムを同時にエッチングすることができます。さらに、RFソースはプロセスパラメータに合わせて簡単に校正できます。全体として、Alliance A4 9600は、大型基板の精密加工に最適なエッチャー/アッシャーモジュールです。その伝達様式RFの源、4地帯の底の暖房のプラテンおよび大きい部屋はプロセスパラメータの優秀な制御そして均等性を提供します。その広い動作温度範囲、精密圧力制御機能、および近いサーマルカップリングは、厚膜エッチングおよび誘電性フィルムエッチングに最適です。
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