中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9243628 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE
ID: 9243628
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Etcher, 8" 1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9400SEは、高精度で大量の製造要件を満たすように設計された業界固有のエッチャー/アッシャーです。それはMEMS、高度の包装および他の先端技術の企業の適用にとって理想的です。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SEは、ウエハ表面の複数の材料を正確に制御する3次元超薄膜を供給します。これは、独自の高性能レーザーアブレーションおよびメタライゼーションプロセス(LAMP)を使用して、優れた精度を提供します。さらに、このプラットフォームは十分なプログラムや設定に十分な不揮発性メモリ容量を提供し、高度なプロセスモニタリングにより信頼性と再現性の高い結果を保証します。アライアンスA 4 9400SEは、エッチングとアッシングのための機能の広い範囲を持っています。高精度なエッチプロファイル、クリアカット、高速エッチングスピード、豊富な形状、サイズ、幅を提供します。その高度なアッシング処理はまた、エッチング材やその他の有機残留物の効率的な除去を可能にする高速浸食プロセスを提供します。さらに、このプラットフォームは、低k誘電材料と非磁性ドーパントの正確なアッシングを提供します。ALLIANCE A4 9400 SEには、高精度モニタ技術(APM)も搭載しており、正確で再現性の高い再帰を保証します。このシステムは、エッチングとアッシングのプロセスを継続的に監視し、パラメータ設定を最適に維持するためのリアルタイム調整を行います。これにより、部品は常に最高の製品品質基準を満たしています。安全性に関しては、LAM RESEARCH Alliance A4 9400SEには、リスクを最小限に抑え、オペレータを保護するためのセーフガードとセキュリティプロトコルが含まれています。このシステムには、ガイド保護システムとパージタイマーが装備されており、オープンガス放電を最小限に抑えています。また、パーティクルストレイシェーディングメカニズムと真空制御により、SEMI規格に準拠しています。全体として、LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SEは、最も困難なアプリケーションに対応する高効率で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高精度・高精度で大量生産が可能です。これにより、MEMS、高度なパッケージング、その他の先進技術を含むさまざまな業界に最適です。
まだレビューはありません