中古 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9169592 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 9400SEは、エッチング/アッシングプロセスを同時に行うための包括的なリソースを提供するために設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SEは、1つのプラットフォーム内のエッチング要素とアッシング要素の両方を含むシングルピース統合ユニットです。この高性能機器は、高速エッチング処理時間（最大15cm2/min）、生産性の向上、および高収率の結果を提供します。Alliance A4 9400SEは、ユーザーに最適な利便性を提供するために必要なすべての設定が豊富な、自動化されたユーザーフレンドリーなタッチインターフェイスを含む排他的なプログラム機能を提供しています。システムは使いやすい操作のための15 x 5インチのフルカラーのタッチ画面が付いている大きい24ビット色の表示と完全です。ALLIANCE A4 9400 SEは、サーマルエッチングプロセスに4つの独立した温度ゾーンを使用しており、温度範囲は500°Cまでで、選択的エッチングと堆積物のアッシングが可能です。内蔵のガスフローレギュレータにより、ガスの特性と分布を正確に制御できます。ホットウェーハリフターは、実験パラメータとサンプルセットアップに基づいて自動パラメーター調整を提供します。各コンポーネントは、完璧な結果を保証するために、複数の方向で個別にチューニングすることができます。さらに、LAM RESEARCH Alliance A4 9400SEエッチャー/アッシャーは、シリコン、窒化ガリウム（GaN）、リン酸インジウム（InP）などの幅広い材料をエッチングする機能を含む、ウェットおよびドライエッチングの両方のプロセス汎用性を提供します。また、高解像度チャネルとさまざまな基板構成用の低角度リフターにより、生産効率と歩留まりを向上させます。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE etcher/Asherは、優れた安全評価を備えた優れたサービス品質（QoS）と、ユニットのステータスと消耗品のリアルタイム監視を提供します。統合された自動警報機械はすぐにあらゆる用具の機能不全にオペレータに警告します。Alliance A4 9400SEには、リモートアクセス機能とSCADA制御システムとの互換性も含まれています。ALLIANCE A4 9400 SEは、さまざまな材料に包括的なエッチング/アッシングソリューションを提供し、高い歩留まりと優れた精度を提供し、運用コストを低く抑えます。この汎用性が高く、使いやすいエッチャー/アッシャーは、ハイテクプロセスに最適です。