中古 LAM RESEARCH Alliance A4 4520 #9272823 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 4520は、高度なパターニング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。完全自動化された基板ポジショナ、統合ウエハハンドリング、および高い蒸着効率リアクタなどの高度なオートメーション機能を備えたマルチソースエッチツールです。この装置は、高スループット生産能力を備えた高精度のエッチング結果を提供します。このシステムは、直径200mmまでの基板を処理することができ、酸素、アルゴン、窒素、塩素などのさまざまなプロセスガスに対応できます。また、高圧動作をサポートするハイエンド真空タービン技術を備えた多段エッチングチャンバーを備えています。高度なレギュレータとコントローラーユニットにより、ナノ秒範囲のエッチング速度を調整し、精密なエッチング結果を得ることができます。Alliance A4 4520の統合ウェーハハンドリングマシンには、オーバーヘッドローダーとマニホールド上部の基板を正確に追跡するサブシステムが含まれています。ウエハハンドラサブシステムには、光学センサーを使用して基板の位置と向きを監視し、電極とのアライメントを確実にするビジョンツールが内蔵されています。また、自動プラズマモニタと制御アセットを備えており、エッチング前とエッチング後の両方の操作でプラズマを追跡および調整します。また、LAM RESEARCH Alliance A4 4520は、さまざまなアプリケーションで使用可能な幅広い電力レベルのRF電源供給モデルを備えています。このツールは、高い寸法精度で水平面を作成することができます。また、オプションの高線量イメージング装置により、高スループット、低線量イメージング、超高解像度イメージングが可能です。アライアンスA4 4520は、高度なパターニングアプリケーションに最適です。高いスループットで高精度制御を実現し、高い生産性を実現する自動化機能を内蔵しています。ウエハハンドリングシステム、自動プラズマモニタ、制御ユニット、RF電源供給機を内蔵し、エッチャー/アッシャーをエッチングのための効率的で信頼性の高いツールとしています。