中古 LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL #9169591 を販売中

LAM RESEARCH Alliance A4 4420XLは、大量の高解像度エッチングを必要とする幅広い用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、エッチングプロセスの範囲を処理することができますモジュラープラットフォームで設計されています。この機械は4チャンバーアーキテクチャを持ち、第3チャンバーはシリコンマンガン材料の等方性エッチングに使用されています。精密なプロセス制御と幅広いプロセスパラメータを提供し、複雑な構造をさまざまな材料にエッチングすることができます。A4 4420XLは、高効率のガスデリバリーユニットを搭載しており、高度に制御されたプログラム可能な高精度エッチングソリューションを提供します。エッチング工程は試薬、圧力、温度の組み合わせに依存し、LAM RESEARCHは、可能な限り最良の結果を得るために、特定の試薬レシピとカスタムガスフローを開発しました。また、高精度な構造を正確にエッチングできる光学エッジ検出システムを搭載し、多段式圧力ゲージはプロセスチャンバーへの連続フィードバックを提供し、長時間にわたる均一なエッチングを可能にします。このエッチャー/アッシャーは、毎秒最大0。01ミクロンの速度でエッチングすることができ、幅広い基板のエッチング厚さを可能にします。また、レイヤー移動、厚膜金属エッチング、ダイシングなどのマルチステッププロセスに対応するために、ガスの流れ、圧力、温度を調整する機能を備えた柔軟なプロセス制御を提供します。さらに、A4 4420XLは、ガラスや石英からシリコンやロークデバイスまで、さまざまなウエハサポート面と互換性があるように設計されています。要するに、LAM RESEARCH ALLIANCEA4 4420XLは高精度のエッチャー/アッシャーであり、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスのための汎用性の高いソリューションをユーザーに提供します。高精度なプロセス制御システム、高精度エッチング、各種基板を備え、高効率なパッケージを提供します。オプティカルエッジ検出システムや多段式圧力ゲージなど、多くの機能により、大量に使用されているアプリケーションと少量のアプリケーションの両方で一貫して正確な結果を出すことができます。