中古 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9389921 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、半導体デバイスの大量かつ柔軟な生産のために設計されたハイスループットエッチャー/アッシャーです。9600 PTXは、1時間あたり最大227個のウェーハの優れたスループットで、粒子数が著しく低く、材料除去の均一性に優れています。この装置は、高速で信頼性が高く、費用対効果の高いプラズマエッチングおよびクリーニング操作を保証する高度な技術を提供します。この機械は、精密で柔軟なエッチングのための高度なマルチゾーンプラズマソースで構成されています。高度なチャンバー設計により、ウェーハのさまざまな領域での均一性が制御され、高精度のデバイスを生成するのに役立ちます。この装置には、最大80 Torrの処理が可能な真空ポンピングシステムと、ウェハ、電極、および熱転移の最適な冷却を提供する強化クーラントユニットが含まれています。さらに、Alliance 9600 PTXには、高度なRF電源供給および制御システムも含まれています。独自の高度なプロセス制御（APC）アルゴリズムは、所望のエッチングまたはクリーニングプロセスが迅速かつ正確に達成されることを保証します。可変的なプロセス圧力制御はまたエッチングおよび/またはクリーニング操作の間に精密な部屋の圧力が置かれ、維持することを可能にします。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、高い精度とスループットを備え、高速で信頼性の高いエッチングとクリーニングを必要とするあらゆる生産ラインに最適な製品です。プロセスエンジニアは、簡素化された設計および操作機のおかげで、エッチングおよびクリーニングプロセスを正確かつ迅速にプログラム、設定、および監視できます。このマシンは高度に構成可能で、ユーザーはいつでも機能と操作手順を調整して一貫した結果を得ることができます。