中古 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9299377 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、処理スループットの向上、フットプリントの小型化、並列プロセス能力の向上に特化した高効率エッチャー/アッシャーです。このウェーハ処理装置は、効率性と汎用性を高める幅広いプロセスウィンドウを備えたバッチスタイルのシステムです。液体化学やガス化学など、さまざまなプロセス化学の選択肢を提供しています。このユニットは、デュアルロードロックステーション、8インチウェハトランスポート、並列処理機能を備えています。この機械の主な利点には、ロードロックプロセスを簡素化する機能、洗浄効率と再現性の向上、エッチングプロセス化学物質を精密に制御する機能があります。堅牢なプロセス制御と自動化により、このツールは、歩留まりを改善し、再現性を向上させるための同時エッチングと灰処理に最適です。このアセットには、マルチゾーンバッチ制御機能が搭載されており、プロセス監視機能が強化されているため、オンザフライの化学およびジョブをリアルタイムで変更できます。Alliance 9600 PTXは、処理中の極端な条件に耐えるように設計された信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、高速CPU、専用ビデオモデル、プロセス制御ソフトウェア、フルカラーのタッチパネル、真空および圧力モニタを備えています。モジュラー設計により柔軟性が高く、シリサイド、エッチング、灰およびその他の標準を含むさまざまなプロセスモジュールを必要に応じて設定できます。さらに、リアルタイム制御のためのスマートなCVDTMフィルム蒸着技術とウェーハ上の堆積膜の均一性を強化しました。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXには、インテリジェントプロセスモニタリング（IPM）技術が搭載されており、プロセス中のパラメータを継続的に監視および制御し、ツール設定を自動的に調整しながら、プリクリーニング、エッチング、ポストエミッション洗浄などのプロセス手順を正確に実行します。1時間あたり最大300ウェーハのスループットを実現するこのシステムは、今日のウェーハ処理ニーズに最適です。