中古 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9233428 を販売中
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ID: 9233428
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Etcher, 8"
Transfer chamber:
VCE Type: LIP Seal
Aligner: 001-4130-03
Transfer robot: BROOKS Magantran 7
ARM Type: Dual thin blade
Rocker valve P/N: 715-012208-001
LL & TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MSK
Cooling station
Turbo pump model: STP-H200C
Etch chamber: PM2 / PM3
Turbo pump: STP-1301L / STP-H1303CV3
Chamber: TCP 9600 PTX
Pressure gauge: MSK E29B-23813 (0.1 Torr) / 625A11TDE (10 Torr)
Throttle gate valve: VAT 65046-PH52-AFI1 / 0052
Source RF generator: RFDS 660-024637-006
Bias RF generator: RFG 1250 HLAO
Configuration of MW chamber: PM1 / PM4
Chamber: Alliance stripper
Throttle gate valve: VAT/64040-PE52-1009/0429
MW Generator: ASTEX FI10021
MFC:
PM1: O2 5000sccm / N2 1000sccm
PM4: O2 5000sccm / N2 1000sccm
Gas panel / Etch chamber: PM1 / PM4
Gas panel: 8 Channels
(6) Gas channels
MFC Model: TYLAN 2950 Series
Gas: PM1 / PM4
Ar 100 sccm
CHF3 100 sccm
O2 200 sccm
N2 50 sccm
CL2 200 sccm
BCL3 200 sccm
AC Rack:
Power supply: 208 VAC, 400 A, 50/60Hz, 3 Phase, 4 Wire
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、最先端の加工技術を統合し、正確なエッチングとアッシングの結果を得るために設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、パフォーマンスの向上、スループットの向上、稼働時間の向上、ユーザーの運用コストの削減を実現します。アライアンス9600 PTXは、75mmから152mmまでの基板加工が可能です。このユニットは、半導体業界のエッチング/アッシングのニーズに非常に高速なサイクルタイムを提供するように設計されています。アライアンス9600は、優れた材料加工のためのハイエンド機能を備えています。PEDC技術では、超短パルスを使用して、非常に正確で正確なエッチング/アッシングを実現し、小型で高密度のデバイスの生産を容易にします。また、ウェットケミカルとドライエッチング/アッシュプロセスの両方に対応するように設計されています。クロスフローフィルタは、ポストプロセスの副産物を迅速に回復するための統合フィラメントを備えています。加熱されたドラム設計は、優れた均一性を提供し、マルチゾーン温度制御の向上により、表面地形の変化を最小限に抑えます。統合されたコレクターは、廃棄物収集用のポストプロセスウェーハを保管します。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは高度な制御能力も備えています。アップグレードされたInfinityFlex™ Controlは包括的なソフトウェアパッケージで、リアルタイムプロセスやレシピの追跡、予測メンテナンス、レシピの最適化、リモート診断などの多数の強力な機能を提供します。このツールはまた、シンプルで直感的なユーザーインターフェイスのためのシングルボタン操作と自動キャリブレーションを提供します。また、プロセス精度はin-situ計測アセットによって最適化され、正確で一貫性のある再現性のある結果が生成されるようになります。アライアンス9600 PTXは信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーシステムであり、半導体業界の幅広いエッチング/アッシングプロセスに高度な機能を提供します。包括的な制御能力とスループットの向上により、LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXモデルは、ツールの複雑さとコストを削減しながら、ダウンタイムを削減し、プロセス効率を最大化します。
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