中古 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764644 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、半導体およびその他の材料加工用に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。フォトレジストリッピング、ディープシリコンエッチング、金属エッチング用に設計されています。Alliance 9600は、高精度のプロセス制御を提供し、幅広い基板およびプロセスを正確に制御するためのさまざまなプロセスモジュールを内蔵しています。Alliance 9600は、精密なアプリケーションのために、いくつかのタイプのエッチングガスの使用、および可変温度処理および高精度の圧力制御をサポートしています。また、冷却機能、自動ウェーハ位置調整、真空および真空シール調整、複数のプロセスランのレシピ、リモート監視、自動化されたプロセスデータ収集も提供します。また、エッチングとアッシングの両方に対応する自動ウェハトランスファーマシンを搭載しています。アライアンス9600 PTXには、エッチングガスと温度を正確に制御するための正確なガス供給ツールが装備されています。また、エッチングガス分子のモニタリング用のガスモニター、長期貯蔵用の統合ガスシリンダーも備えています。ガスボンベはフレキシブルホースを使用してモデルに接続されており、ユニットはプロセスに安全に接続されています。アライアンスはまた、ノズル、スクラバー、オプションのスクラバー延長、ベベルブレードなどの統合コンポーネントを備えた高度なフォトレジスト除去装置を提供しています。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、包括的なプロセスガスレシピを含む包括的なプロセス制御を提供します。また、レシピベースのプロセスモニタリングとオプションの自動温度制御により、複数の基板にわたって均一なエッチング深度を実現します。Alliance 9600モデルには、4段階の低圧ソースとRS-232シリアルアクセスを備えた2つの独立した電源、およびタイムロックアウトでプログラム可能な安全インターロックが付属しています。このシステムには、手動または手動圧力制御用の自動圧力調整もオプションで用意されています。Alliance 9600 PTXは、幅広い材料の精密加工用に設計された包括的なエッチャーアッシャーパッケージです。そのガス供給ユニット、温度制御、圧力制御は、正確なプロセス制御を提供します。オプションの自動および手動プロセス制御機能は、レシピ、ガスモニター、自動ウェーハ位置決め、真空およびシール調整など、エッチングおよびアッシャー要件を厳格化するための理想的な選択肢です。