中古 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764316 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、半導体産業のエッチャー/アッシャーです。このツールは、アルミニウムからシリコン、フォトレジストまで、さまざまな材料のパターニング、除去、ドーピングに使用されます。スケーラビリティ、柔軟性、高スループット、低コストのため、さまざまな生産シナリオで使用できるように設計されています。Alliance 9600 PTXの中核は、エッチングとアッシング機能です。このユニットには、イオンビームを正確に制御するためのデュアルステージRF駆動ドライエッチング/アッシングシステムが装備されています。このソリューションは、0。03-10nmの典型的なプロセスウィンドウで、5ナノメートル（nm）までの層を除去することができます。このシステムは、半導体デバイスの製造に使用される金属、酸化物、窒化物、ポリシリコンなどの材料をエッチングすることができます。このマシンには、エッチングおよびアッシング処理中にガスや粒子が逃げないように、高真空対応の安全シャッターも装備されています。ターボ分子ポンプなどの他の真空部品は、エッチング性能と制御を向上させるために含まれています。これにより、幅広い用途で再現性のあるエッチングおよびアッシングプロセスが保証されます。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTXは、強力で使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、プロセスのセットアップと監視を簡素化します。デュアルコンピュータインターフェイス（DCI）の統合により、エッチング/アッシュツールから最大50メートル離れた場所にコントローラを配置できるため、機械の測定および調整ポートは便利な外部場所からアクセスできます。最後に、ロードロックオプションが利用可能で、エッチングおよびアッシングチャンバーへのワークピースの自動ロードが可能です。このマシンは、生産自動化システムとの統合を可能にし、プロセスを最小限の労力で簡単に自動化および監視することができます。結論として、Alliance 9600 PTXは、半導体デバイスの製造に使用するさまざまな材料をエッチングしてAsingするための強力で経済的なソリューションです。その小さなフットプリント、エッチング/アッシュ機能、統合された安全シャッター、強力なGUI、柔軟性により、あらゆる生産環境に最適なツールです。