中古 LAM RESEARCH Alliance 9400 #9035897 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9400は、半導体デバイスおよび材料の精密エッチングおよびアッシング用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。加工能力と精度は、しばしば厳しい製造公差を必要とする製品や技術にとって重要です。アライアンス9400は、高いスループット、改善された制御、およびコスト削減で困難なプロセスを処理するように設計されています。LAM RESEARCH Alliance 9400は、高度なマルチゾーン加熱ドームとチャンバー設計を備えており、プロセスの均一性と高度なデバイス構造の特徴プロファイルを最大化しています。カスケード可能なマルチゾーンのドームは、中心から端までの温度差を最小限に抑え、ポストプロセスのアニーリングを必要としません。マルチゾーンチャンバー設計により、独立したベントゾーンを介した軸流による水平熱及びプラズマの均一性が保証されます。Alliance 9400は、先進的なデバイス構造とプロセスに対して費用対効果の高いソリューションです。その先進的なプラズマソーステクノロジー（APS）は、さまざまな設定可能なパラメータを提供することで、各アプリケーションのプロセスの柔軟性と高性能を保証します。また、LAM RESEARCH Alliance 9400は独自の自動プロセスコントローラを備えており、効率を最大限に高め、無駄を最小限に抑える柔軟なレシピを提供します。クローズドループのプロセス制御システムは、プロセスのパフォーマンスを監視し、正確さと再現性を確保するフィードバック制御アルゴリズムを実装します。Alliance 9400は、あらゆるエッチングやアッシング処理に安全な環境を提供します。自動化されたプロセス制御熱量計、可変温度動作、専用の火災・煙警報システム、自動安全バルブ遮断システムなど、幅広い安全機能を備えています。LAM RESEARCH Alliance 9400は、空気中の粒子やその他の危険な粒子のリスクを最小限に抑える統合された排気ブロワーでも設計されています。要約すると、Alliance 9400は精密なプロセスアプリケーション向けの高度なエッチャー/アッシャーであり、最適な効率、コスト削減、安全性を実現するよう設計されています。これは、プロセスの均一性と特徴プロファイル精度を維持するマルチゾーン加熱ドームおよびチャンバー設計、安全な環境での熱およびプラズマの均一性を保証するマルチゾーンチャンバー、最高のパフォーマンスと最小限の廃棄物のための柔軟なレシピを備えた自動化されたプロセスコントローラを備えています。