中古 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293754418 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、極めて精密なエッチングとアッシングプロセスを提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。Alliance 9100 PTXは、無線周波数（RF）励起やマイクロ波励起など、さまざまなプラズマ源を利用して、単一のツールで最高レベルの精度と効率を提供します。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、生産における最高のパフォーマンスと信頼性を実現するモジュール設計を備えています。工具部品は高精度なアライメントと再現性を目指して設計されており、エッチングおよびアッシングプロセスにおいて最高の精度と均一性を提供します。また、エッチングまたはアッシュする必要がある材料に応じて、プロセスの2つのバリエーションを提供しています。1つ目は低圧エッチャー/アッシャー、2つ目は大気圧プラズマ（APP）システムです。これにより、ポリマー、ポリシリコン、非シリコンデバイスなど、さまざまな材料に最適なプロセスを提供できます。Alliance 9100 PTXは高度にカスタマイズ可能なツールで、ユーザーは正確な要件を満たすためにプロセスパラメータをカスタマイズできます。また、LAM独自のEPT2プロセス制御システムと統合することができ、ユーザーは高度なプロセス制御にアクセスして、複数の実行にわたって繰り返し可能で最適化されたエッチングとアッシングの結果を確実にすることができます。さまざまなエッチングおよびアッシング構成も、さまざまなニーズを満たすために利用できます。全体として、LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、業界をリードするメーカーの高精度エッチングとアッシングのニーズに最適なソリューションです。一貫して期待を超える信頼性の高い結果を提供し、優れた精度と再現性を提供し、幅広い材料およびアプリケーション要件に対応します。また、比類のない柔軟性とプロセス制御を提供し、ユーザーはプロセスパラメータをすばやく調整して、繰り返し可能で最適化された結果を保証することができます。