中古 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293666065 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、次世代半導体加工のために設計されたエッチング/アッシングツールです。9100 PTXは、高出力と高精度で、幅広いプロセスで複雑なデバイスの製造に最適です。その優れたエッチング/灰の性能は、高度で効率的で信頼性の高い処理能力と相まって、最も要求の厳しいデバイスおよび材料加工アプリケーションに最適です。Alliance 9100 PTXは、誘電体の高速エッチング/アッシングから、金属の選択的エッチング/アッシングによる超精密プロセスまで、乾燥およびウェットエッチング/アッシュの両方の動作を実行できます。エッジツーエッジの均一性とダメージを最小限に抑えた高速エッチング/アッシュスループットを実現する高速抽出/圧縮プロセスを特長としています。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、エッチング/アッシングのサイクル時間を短縮し、生産効率を向上させる先進的な酸の抑制システムも備えています。Alliance 9100 PTXは、効率的で費用対効果の高いダウンストリームハンドリングオプションも幅広く提供します。これらには、カセットローディング、SCARAロボットカセット輸送システム、および垂直および/または水平シングルカセット負荷およびアンロード方法が含まれます。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、完全に自動化されたウェーハリリースとアンロードを備えており、オペレータの労力を排除します。これにより、スループット性能が向上し、デバイスの歩留まりが向上します。Alliance 9100 PTXには直感的なオペレータインターフェイスがあり、最適なエッチング/灰の操作に必要なすべてのコントロールを提供します。また、高度なレシピを作成するためのレシピ編集機能と、エッチング/アッシング結果を正確に分析するための強力なデータロギング機能も内蔵しています。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTXは、Ethernetなどの最新の通信プロトコルをサポートしているため、ユーザーは便利な場所から簡単にetch/ashデータに接続してアクセスできます。全体として、Alliance 9100 PTXは、最も要求の厳しいデバイスおよび材料処理アプリケーション向けに設計された高度なエッチング/アッシュツールです。9100 PTXは、高出力、高精度、高度な機能により、信頼性の高いエッチング/アッシング性能を提供し、サイクル時間の短縮とデバイス歩留まりの向上を実現します。