中古 LAM RESEARCH Alliance 6 #293591874 を販売中

ID: 293591874
ウェーハサイズ: 8"
Metal strip chambers, 8" Matcher included.
LAM RESEARCH Alliance 6は、精度とスピードの高い先進的な電子機器を製造するために設計された革新的なエッチャー/アッシャー装置です。これは、高度なウェーハエッチング技術を使用して、1つの統合プラットフォームで電子機器をクリーニングしてエッチングするように設計されています。アライアンス6は、品質を犠牲にすることなく、さまざまな生産量のシステムのコスト効率の高いエッチングを可能にします。エッチングプロセスは、洗練されたチャンバー設計と急速な圧力制御を備えた高度なエッチングチャンバーから始まり、優れたエッチングの均一性を提供します。このチャンバーには、特許取得済みのプラズマソース技術が搭載されており、優れた電力と性能を保証します。また、ウェーハエッチング機能も備えており、特定のパターンをウェーハ表面にエッチングすることができます。LAM RESEARCH Alliance 6には、ウェーハをエッチング室から冷却装置に搬送し、均一な冷却を実現する高度なウェーハロボットも搭載しています。ロボットハンドリングユニットは、機械全体のウェーハの信頼性と効率的な移動を保証します。アライアンス6はロードロックツールも備えており、ウェーハの直接入出力を可能にします。このアセットは、複数のウェーハを処理することができ、処理エラーを排除し、より高速なスループットを容易にします。このモデルには、ディスペンスコントローラ、真空ポンプ、不活性ガス源など、プロセスを大幅に強化するさまざまなアクセサリーも付属しています。最後に、LAM RESEARCH Alliance 6は、追加の機器に投資することなく、お客様が特定のニーズに合わせてシステムをカスタマイズできる汎用性の高い機器です。柔軟性、性能、費用対効果に優れたAlliance 6は、先進的な電子デバイスの製造に理想的なソリューションです。
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