中古 LAM RESEARCH Alliance 4720 #9192401 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 4720は、エッチングおよびアッシングプロセス用の高信頼性、完全自動化、バッチ型、誘導結合プラズマ（ICP）原子炉です。生産タイプのエッチングやアッシングに最適な、制御性の高い容積測定プロセス装置です。このシステムは、1つの設定で複数のプロセスレシピを実行でき、プロセス変数を正確に制御できます。このユニットは、優れたエッチング/アッシング結果をもたらす4能力コアを備えています。密閉環境でのウェーハの正確な取り扱いを可能にする3軸機械式ロボットアームと、ウェーハの安全かつ効率的な処理を保証する自動ウェーハ処理機を備えています。さらに、Alliance 4720には、動的ガス制御ツール、温度制御モジュール、圧力制御モジュール、および不適切な動作を防止する安全連動アセットが付属しています。このモデルの動的ガス制御装置は、今日の厳しい製造要件を満たすために必要な精密なエッチング/アッシングパラメータを可能にします。温度および圧力制御モジュールは一貫したプロセス加熱および圧力制御を提供します。また、プロセスガスのリアルタイム連続監視用にopto gas analyzerが付属しています。LAM RESEARCH Alliance 4720は、利用可能な最も信頼性の高いガスおよび化学配送システムによってサポートされています。LAMの高度な通信およびコントローラーアーキテクチャを搭載しており、アプリケーションをリモートで変更、制御、監視することができます。オペレータインターフェイスと自動制御の両方に対応しています。このシステムには、温度、圧力、およびガスの流れを追跡するための標準的なメンテナンスアラームも含まれています。このエッチャー/アッシャーは、最大6インチのウェーハ径を処理できます。幅広い基板およびさまざまなプロセス要件にわたる均一なエッチング/アッシング性能により、信頼性と再現性の高い結果が保証されます。アライアンス4720は、最大40個のウェーハのカセットを一度に処理することも可能で、ウェーハレベルの生産に適しています。さらに、このユニットはLAM Alliance Certifiedプログラムを通じて認定および維持され、利用可能な最高品質のコンポーネントを保証します。