中古 LAM RESEARCH Alliance 4520 XL #9255806 を販売中
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LAM RESEARCH Alliance 4520 XLは、半導体デバイスに正確で効率的で再現性のあるエッチングおよびアッシングプロセスを提供するために設計された高性能エッチャー/アッシャーです。このデバイスは、エッチングと灰の優れた均一性を備えた高精度のバスを備えており、信頼性の高いデバイス性能のための再現性のあるプロセスを保証します。このエッチャー/アッシャーは、従来のエッチングおよびエレクトロケミカルアッシング(ECA)プロセスの両方を利用して、最高の製品歩留まりで優れた結果を提供します。アライアンス4520 XLは、エッチングおよび灰プロセスが再現可能であることを保証するために、超低歪みバスデザインなどの高度な機能を提供します。コンパクトなバスサイズは、均一なエッチングと灰の結果の配信を改善するために動作します。このデバイスはまた、業界をリードするデュアルスロープガラスの蓋を備えており、従来モデルを使用するときに予測不可能なガラス浮力の範囲を最小限に抑えます。これにより、お風呂全体に均一な優れたエッチングと灰の結果が得られます。LAM RESEARCH Alliance 4520 XLはまた、プラズマベースのエッチングと灰プロセスを備えており、高エネルギーのプロセスを利用して、より良いエッチングと灰の結果をより短時間で提供します。このプロセスは、顧客のニーズを満たすためにも拡張可能です。エッチャー/アッシャーは、高いスループットを実現する高速自動化プロセスも備えているため、手動での介入が不要です。アライアンス4520 XLのその他の機能には強力な制御システムがあり、温度、ガス濃度、電力、露光時間などのプロセスパラメータを正確に制御できます。このデバイスはまた、プロセスが正確であることを確認するために入力パラメータに関するフィードバックを提供します。このフィードバックは、異常なエッチングおよびアッシュプロセスを検出および修正するためにも使用されます。このエッチャー/アッシャーは、コントロールパネルからトリガー可能なセルフクリーニングシステムを備え、簡単なメンテナンスのためにも設計されています。また、ダウンタイムを最小限に抑え、稼働時間を最大化するための簡単な部品交換プロセスも備えています。LAM RESEARCH Alliance 4520 XLは、正確で反復可能なエッチングと灰プロセスを必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。その高度な機能と信頼性の高いパフォーマンスにより、お客様は生産プロセス全体で一貫したデバイス歩留まりを達成することができます。
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