中古 LAM RESEARCH Alliance 4.1 #9182311 を販売中
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ID: 9182311
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Etcher, 6"
(3) System monitors
TM LID: Cylinder open/close (manual type)
Wafer present sensors (WPS)
TM & VCE Pump option: Single pump type
Fab clean room configuration: Bulkhead
Robot:
BROOKS / MTR 5 / (2) Blades
Aux position 1: Aligner
Transport system control:
Transport VME
Multiplexer PCB
Load lock:
Auto door
VCE Elevator: Bellows seal
Mapping sensor includes
Cassette type: (25) Slots
VCE Vacuum isolation valves
TM Vacuum isolation valves
TM Pneumatic valves
Chamber position 1:
9400SE, 6"
Chamber process: Poly
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP-A1303
VAT 65 Pendulum valve
RF Generator TCP: ADVANCED ENERGY RFG1250 13.56MHz
RF Generator bottom: ADVANCED ENERGY Halo 1250 13.57MHz
Chamber position 2:
9400SE, 6"
Chamber process: Poly
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP-A1303 (Turbo missing)
VAT 65 Pendulum valve (VAT Valve controller missing)
RF Generator TCP: ADVANCED ENERGY RFG1250 13.56MHz
Chamber position 3:
9400SE, 6"
Chamber process: Poly
Turbo pump: SEIKO SEIKI STP-A1303 (Turbo controller missing)
VAT 65 Pendulum valve (VAT Valve controller missing)
RF Generator TCP: ADVANCED ENERGY RFG1250 13.56MHz
Missing part:
Position 2 / 3: RF Generator bottom: ADVANCED ENERGY Halo 1250 13.57MHz
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 4。1は、エッチングまたはアッシング装置で、電子部品および半導体部品の製造に特化して設計されています。これは、単一または複数の基板上に複数の機能を堆積するための高度なプラットフォームです。アライアンス4。1は、高性能で費用対効果が高く、技術的に高度なエッチングチャンバーを備えています。これは、さまざまなプロセス、材料、およびアプリケーションに、堅牢で信頼性の高いエッチングプロセス性能を提供します。アライアンス4。1の優れたエッチング機能により、市場をリードする精度と高精度で機能を成膜できます。これは、高度な上下電極構造と精密な材料管理システムの使用によって達成されます。このシステムは、反転角度基板の向きを利用して、精密なエッチング結果を保証します。さらに、Alliance 4。1は高度な制御機能を備えた統合されたユーザーインターフェイスを備えています。このユニットは、ユーザーがエッチングチャンバーと簡単にやり取りできるように設計されています。この高度な制御機械は、コストとプロセスの目標を満たしながら、所望の結果が達成されることを保証するために使用することができます。Alliance 4。1は、5ナノメートル以下の超薄型フィルム精密エッチングチャンバーを備えています。また、コスト効率を維持しながら、高精度のニーズに適したエッチングプロセスを提供します。さらに、Alliance 4。1エッチングチャンバーは、最小限のメンテナンスニーズで最適な性能と信頼性を提供するように設計されています。このツールの設計により、プロセスの変更に対する迅速な反応が可能になり、再現可能なプロセス結果が保証されます。さらに、資産のメンテナンス要件は最小限であり、コストに配慮したアプリケーションに最適です。結論として、LAM RESEARCH Alliance 4。1は、コスト効率に優れた高性能エッチング・モデルであり、市場をリードする精度と精度で単一または複数の基板に複数の機能を堆積することができます。その統合されたユーザーインターフェイスと高度な制御装置は、エッチング空間を正確にプログラムし、必要な結果を確実に達成する能力を提供します。その結果、Alliance 4。1は高精度でコストに敏感なアプリケーションに最適です。
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