中古 LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE #293591992 を販売中

LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE
ID: 293591992
ウェーハサイズ: 6"
Etchers, 6".
LAM RESEARCH Alliance 4。1 9400 SEは、超高精度ウェーハ処理用の高度なエッチャー/エイサーです。大量生産のために設計されたこの装置は高度なプロセス制御および速く、信頼できる結果のための最適化された設計を特色にします。このシステムは、RIE、 CMP、 etchなどのさまざまなプロセスに適しています。LAM RESEARCH Alliance 4。1 9400 SEは、自動調整機能を備えたカスタマイズ可能なエッチングソリューションで、ユーザーはプロセスパラメータを迅速に最適化し、基板全体の均一性を確保できます。制御の2〜8ゾーンを所有する高速スキャンヘッド、高精細な光学センサー、リアルタイム反応解析を備えています。迅速なプロセス初期化とチューニングにより、ダウンタイムを削減し、大量生産に適しています。LAM RESEARCH Alliance 4。1 9400 SEはまた、エッチングガスの正確な線量と方向制御と、不活性な環境と最適化されたガス供給を提供します。これにより、精密な加工により、垂直方向と水平方向の両方で正確なターゲットと再現可能な結果を提供できます。さらに、エッチングレシピの柔軟性と重要なプロセスパラメータの調整が可能です。LAM RESEARCH Alliance 4。1 9400 SEのプロセス制御により、効率的かつ再現性のあるウェーハ処理が可能になり、また、プロセス管理を改善するフルタイムのオンボードMES(製造実行ユニット)も装備されています。モジュール性を考慮して設計されており、既存のプロセスへの効率的な統合と迅速かつ簡単なアップグレードが可能です。LAM RESEARCH Alliance 4。1 9400 SEは、業界をリードするハードウェアとソフトウェアを使用して、最高のスループットと正確な制御を実現し、超精密処理を実現します。これは、業界をリードするサポートマシンによって補完された、大量生産のための費用対効果の高い、信頼性の高いソリューションです。高度な機能と精密な制御により、超高精度ウェーハの大量生産を実現します。
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