中古 LAM RESEARCH AE 480 #9214116 を販売中

LAM RESEARCH AE 480は、最高レベルのプロセス制御、精度、およびウェーハスループットを実現するように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。強力なエッチングとベーキング機能を備えたAE 480は、ポリSiゲートエッチング、ソース/ドレインエッチング、ウェハクリーニングなど、幅広い半導体アプリケーションに対応できます。LAM RESEARCH AE 480は、完全に自動化されたプロセスと最先端のプロセス制御技術により、お客様に最高の品質、歩留まり、スループットを提供します。AE 480は50ウェハロードロックシステムを備えており、ユニークで効率的で費用対効果の高いウェハハンドリングとストレージソリューションを提供します。大型の「クォーターカット」ウェハ（直径12インチまで）を手動で介入することなくエッチャー/アッシャーに転送することができます。LAM RESEARCH AE 480は、高度なリアルタイムプロセスコントロールユニットを備えており、プロセスサイクル全体で最適化されたチャンバー圧力、電圧、およびガスの流れを維持することができます。AE 480エッチャー/アッシャーは、比類のないエッチングとベーキングスループットを提供する柔軟なデュアル周波数HFソースによって駆動されます。モジュラー設計により、お客様はシステムをカスタマイズして特定の製造要件を満たすことができます。さらに、高度なプロセスガス供給機能により、高エッチング率を維持しながら、高温ベーク機能により、すべてのウェーハ層において最大限の均一性を確保します。LAM RESEARCH AE 480は、お客様にサービス性を向上させます。このマシンはオープンアーキテクチャで設計されており、ロボットやレストックシステム、サーマルシステム、コンベアなどのサードパーティ製コンポーネントで簡単にアップグレードおよび構成できます。さらに、AE 480は、社内とリモートの両方の診断とメンテナンスをサポートする、顧客に優しいネットワーク構造を備えています。高度な機能と堅牢なツール設計により、LAM RESEARCH AE 480は、すべての半導体製造ニーズに対応する卓越した性能をお客様に提供します。比類のないプロセス再現性、高度なプロセス制御、高スループット機能を備えたAE 480は、最高の製品品質と歩留まりを達成するための理想的なエッチャー/アッシャーです。