中古 LAM RESEARCH A6 #293821538 を販売中

LAM RESEARCH A6は、マルチチャンバー、マルチプロセスエッチャー/アッシャーであり、さまざまな用途に迅速で信頼性の高いエッチングおよびアッシング機能を提供します。A6は、大小の基板サイズのエッチングに効果的な堅牢で高収量で信頼性の高い装置です。このシステムは、2つの独立した温度制御および圧力制御プロセス・チャンバで構成されており、より大きな基板に適した広い処理チャンバと、より小さな基板に適した複数の小さなチャンバがあります。これにより、アプリケーションの要求に応じて可変基板処理が可能になります。このユニットは独自にプログラム可能なガスの流れと圧力を備えており、幅広い材料で最適化されたプロセスフローと高速サイクルタイムを可能にします。さらに、基板加工においても、チャンバーあたり最大4基の基板ホルダで最大限の柔軟性を実現します。LAM RESEARCH A6には、自動チャンバーフラッシング、マルチチャンバーバイパス、デュアルブロワーバイパス、チャンバーサイドウォールローディングおよびアンロードなどの高度なチャンバー設計特性も含まれています。さらに、A6を使用したウェットプロセスとドライプロセスの両方の可用性により、運用コストを削減し、歩留まりを向上させることができます。LAM RESEARCH A6は、CF4、 SF6、 NF3、 Arなどの幅広いガスにも対応しています。最後に、A6には、信頼性が高く、効率的でユーザーフレンドリーなマルチチャンバープロセス最適化機能が内蔵されています。