中古 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410068 を販売中

LAM RESEARCH A6 9608 PTXエッチャー/アッシャーは、半導体およびマイクロマシン製品の精密加工に使用される工業用グレードのプラズマエッチング工具です。9608 PTXは、反応性ガスを使用した化学エッチングと、プラズマと呼ばれる物理的なエネルギーを使用したエッチングを特徴としています。このツールは、プロセス制御とエッチングの一貫性の優れた組み合わせを提供し、材料をソースウェーハからターゲットウェーハに迅速に転送することにより、高スループットを実現します。9608 PTXの堅牢な設計は、過酷な産業環境での反復操作に適しています。このシステムはマルチチャンバーアーキテクチャで構築されており、さまざまなエッチング処理が可能です。3つのプロセスチャンバー、プリエッチチャンバー、エッチチャンバー、ポストエッチチャンバーが装備されています。各チャンバーには多数のエッチングオプションがあり、圧力、流量、温度などのパラメータを調整できます。再循環水路は、長い実行中であっても、エッチング工程の温度維持を保証します。効率的な9608 PTXシステムは、複数のプロセスを単一のエッチング操作に厳密に統合するために設計されています。これには、効率的なマルチステージバッチ操作のための高度なオートメーションが含まれており、プロセスレシピはメモリに保存され、将来の使用のために素早く呼び出されます。このシステムには、プロセスレシピガイダンス、リアルタイム監視、障害検出、および自動シャットオフ機能が装備されており、製品の品質を保証します。さらに、このツールは、プロセスの改善と材料コストの削減のためのデータ収集とフォワードレポートをサポートします。9608 PTXは小型で信頼性が高く、低消費電力です。プロセスが安全に行われ、汚染がないことを保証します。一貫したスループットと最適な製品品質のために、LAM RESEARCHはテクニカルサポートと製品トレーニング、診断ツールと予測メンテナンスプログラムの包括的なパッケージを提供します。柔軟でメンテナンスが容易なツールは、印象的な歩留まり産業性能を提供し、プロセスと操作の最適化を可能にします。