中古 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9241406 を販売中

LAM RESEARCH A6 9608 PTXは、LAM RESEARCH Corporationが先進的な半導体製造プロセスで使用するために開発したエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、半導体の生産ラインで大量に製造するために設計されています。同社の特許出願中のサーマルプレート技術を活用して、正確で高収量のエッチングとアッシングの結果を提供します。この装置は、20kWのRF発電機、効率的な転送、および精密なアッシングおよびエッチング処理のための高圧配信（最大760 Torr）を備えています。PTXには、温度分布を均一にし、処理時間を短縮するサーマルプレートも装備しています。このエッチャー/アッシャーは、0。1mmから0。27mmまでの厚さのウェーハを処理できる革新的なホーネット反応イオンエッチング技術を特長としています。また、オートアライメント機能とオートフォーカス機能を備えた高度なプロセス制御ユニットと、素早い基板交換のための自動ターゲットカセットローダーを備えています。また、プロセスレシピの開発作業を簡素化するための高度なプロセスレシピコンパイラも装備されています。A6 9608 PTXエッチャー/アッシャーは、最大8インチウェーハ、6500 Angstromsの均一性、および3。5シグマのプロセス再現性を備えています。シリコン、石英、サファイアなど幅広いウエハ基板に対応し、エッチングやアッシング用材料も豊富に取り揃えています。また、塩素、窒素、臭素などのPFG前駆ガスを幅広く処理することができます。さらに、このツールにはPANalytical Quartz Analysis Assetが搭載されており、プロセスのパフォーマンスをリアルタイムで監視および分析できます。エッチャー/アッシャーは、LAM A9熱制御モデルとも互換性があり、プロセスチャンバーの自動温度制御が可能です。オゾン生産を正確に制御し、均一なエッチングまたはアッシングの結果を保証するオゾン制御装置だけでなく、。LAM RESEARCH A6 9608 PTXは、半導体生産ラインに優れたプロセス信頼性とスループットを提供する高精度エッチャー/アッシャーです。この信頼性の高い費用対効果の高いシステムは、半導体デバイスの製造、パッケージアセンブリ、およびその他のアプリケーションに最適です。