中古 LAM RESEARCH A4 #148352 を販売中

LAM RESEARCH A4は、精密ウエハ加工に特化した高度なエッチングツールです。このデバイスには独自の4ウェイ・ソース・アライメント装置が装備されており、高い再現性レートで高アスペクト比エッチングを行うことができます。この新しいシステムには、エッチングされた深さを正確に測定するだけでなく、最も微妙な欠陥を発見することができる特許取得済みの視力検査モジュールが含まれています。LAM RESEARCH A-4は、半導体基板の加工用に設計された高性能ウェハエッチングツールです。高度なプラズマ化学を応用し、ウェーハ加工の分野で様々な高アスペクト比エッチングを行っています。この製品は、ウェーハ上にクロスパターンで配置された4つのソースで構成されています。これにより、エッチング率をウェーハ表面全体に均等に分散させることができます。A4は、再現性と精度を確保するために、薄型ディスプレイや高度な電子パッケージング技術に最適化された特殊な4方向ソースアライメントユニットを装備しています。このデバイスは、設計仕様を超える場所での侵食を認識して停止することもできます。さらに、ウェーハの表面欠陥を検出し、複雑な構造を作成できる2次元ルックダウンエッチング（2D-LDE）機能を備えています。この2D-LDEにより、4分の1以下のミクロン構造やスルーホールビアなどの複雑な形状の製造が可能になります。A-4の堅牢な処理能力は、製品独自の視覚検査モジュールによってサポートされています。このモジュールは、サブミクロンレベルで、表面凹凸、凹凸などのエッチング欠陥の存在を検出することができます。また、深さを正確に測定し、誤った表示問題を報告することもできます。このモジュールはまた、エッチング後のプロセス制御をリアルタイムでサポートし、エッチングされた機能の高精度により歩留まりを向上させます。最後に、この製品には、プロセスの最適化とトレーサビリティの向上を可能にする監視およびフィードバック機能が搭載されています。要するに、LAM RESEARCH A4は、精密ウェーハ加工を提供する高度なエッチングツールです。洗練された4方向ソースアライメントマシン、2D-LDE、包括的な視覚検査モジュールを備えています。これらの部品は、ウェーハの効率的かつ正確なエッチングとエッチング欠陥の検出を可能にします。さらに、製品はリアルタイムのプロセス制御と信頼性の高い結果を提供するように設計されています。