中古 LAM RESEARCH A4 9400 #9198122 を販売中

LAM RESEARCH A4 9400は、大量生産アプリケーション向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。ウエハーなどのエッチングをはじめ、エッチング剤（X線リソグラフィ、アルゴンフッ化物、塩素系エッチング剤など）を用いたエッチング加工が可能です。エッチャー/アッシャーは、エッチングとクリーニングの両方に使用される単一の真空チャンバーを内蔵しています。真空圧力は5〜10mTorrの範囲にあります。新しい設計は、基板表面の独自の熱制御を含む、エッチングおよび洗浄プロセスの完全に統合された制御を提供します。A4 9400は、自動設定調整による全自動プロセス、エッチング処理を最適化するために利用可能なエッチング時間とパラメータの選択、および直接コンピュータ制御ステーションなど、幅広いオプションと機能を提供します。LAM RESEARCH A4 9400はまた異なった基質および異なった適用を扱うために個別に調節することができる多数のエッチンヘッドを運びます。作り付けのRFの発電機は最もよい性能のために最大限に活用され、異なったエッチングの条件のために単に調節することができます。A4 9400はNEBBのクリーン証明が装備されており、一貫した信頼できるクリーニングの結果を保障します。完全に統合された安全システムは、すべての操作が安全規制内で実行されることを保証します。LAM RESEARCH A4 9400は、大量生産アプリケーション向けの信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーです。このシステムは、品質を犠牲にすることなく、再現性、信頼性、安全なエッチングを提供することができます。高度な通信インターフェースを備えており、さまざまなOEMシステムやその他のシステムコンポーネントを容易に統合でき、さまざまな産業および研究環境に最適です。さらに、統合された安全システムは、すべてのエッチング操作が安全規制内で行われることを保証します。