中古 LAM RESEARCH A4 9400 PTX #9224718 を販売中

LAM RESEARCH A4 9400 PTXは、高性能で高精度なエッチャー/アッシャーで、幅広い材料に対して迅速で正確なパターン転送を容易にするように設計されています。エッチャー/アッシャーにはプログラマブルプロセス制御機能が搭載されており、プロセスパラメータをカスタマイズして最適な結果を得ることができます。A4 9400 PTXエッチャー/アッシャーは、従来のスパッターエッチャーよりも高い精度、速度、およびパターン忠実度を提供する高度な統合イオンミリングシステムを備えています。イオンミリングシステムには可変電力RFジェネレータが搭載されており、低圧プラズマ閉じ込めチャンバーに内蔵されているため、繊細な構造や高精度なパターンをエッチングする際の柔軟性が向上します。LAM RESEARCH A4 9400 PTXには独自のサンプル相対モーションステージが装備されており、パターンエッチングをより厳しく制御し、位置決め精度を向上させます。この機能は、パターンの正確なアライメントと登録が重要な大規模なサンプル作業に関与しているユーザーにとって特に魅力的です。A4 9400 PTXには、総ガス開放時間、蒸着速度、発生角度、浸食角度、時間遅延などの高度なプロセスパラメータが組み込まれています。これらの機能により、エッチャー/アッシャーを特定のプロセス要件に合わせて調整することができ、優れたパターン転送精度を実現します。LAM RESEARCH A4 9400 PTXは、ロードロック、チルトマウントサンプルホルダー、セグメント化された静電チャッキングプレートなど、さまざまなアクセサリーも提供しています。これにより、さまざまなサンプルサイズとジオメトリの柔軟性が可能になります。このシステムは、高信頼性とプロセス条件の正確な制御のために設計された2.0KW電源でさらに強化されています。A4 9400 PTXは高度なエッチャー/アッシャーで、パターン転送およびサンプル調製プロセスの精度、効率、品質を保証します。ユーザーに幅広いプロセス制御機能を提供し、特定の要件に応じてエッチャー/アッシャーを調整することができます。アクセサリーや機能の範囲は、LAM RESEARCH A4 9400 PTXは、高精度のパターン生産とサンプル準備のための理想的な選択肢になります。