中古 LAM RESEARCH A4 4520 PM #9170252 を販売中

LAM RESEARCH A4 4520 PMは、材料除去プロセスを正確に制御する高度なプロセス向けに設計されたエッチャー（またはアッシャー）です。1時間あたり最大10,000個のウェーハの最終パスレートを備えており、正確で再現性のある結果を持つ小型で超精密な機能を作成するように設計されています。プロセスの柔軟性を最大限に高めるため、A4 4520 PMには基板に合わせた高度なウエハハンドリング装置が装備されています。これには、さまざまな直径と厚さのウェーハを処理するためのコンポーネントと、複数のウェーハセットを正確に管理するためのプログラム可能なチャック優先システムが含まれます。エッチング品質とプロセス歩留まりを最大化するために、精密な温度制御のためのクローズドループ真空チャック設計、高品質の可視光学を使用した詳細なリアルタイムプロセスモニタリング、およびマルチレベルの自動レシピベースのガス制御など、さまざまな機能を利用できます。特許取得済みのRapid Energy Response技術は、エッチング工程中のリアクタント濃度を最小限に抑え、エッチング速度と品質を向上させるために、さまざまな材料や基板の処理に最適な速度で調整します。さらに、LAM RESEARCH A4 4520 PMには、精密な材料除去のための高度なガス制御が装備されています。このマシンにはトラブルシューティング機能も含まれており、技術者はプロセス中の問題をすばやく特定して解決することができます。さらに、統合されたレポート機能により、すべてのウェーハからのエッチングパラメータを記録し、トレーサビリティとパフォーマンス履歴を報告できます。安全性を最大化するために、このツールには、エッチング処理中に使用される有害物質から人員や機器を保護するための高度な封じ込め資産が含まれています。これには、エチャント流出をトラッピングおよび除去するための強力なガスクラバーが含まれます。全体的に、A4 4520 PMは、正確で反復可能な機能を作成するために設計された信頼性の高い高度なエッチャーです。それは最高のプロセス柔軟性、精密な温度管理、ガス制御および高められた安全のための有効な封じ込めモデルを提供します。