中古 LAM RESEARCH A 9608 PTX #9235819 を販売中

LAM RESEARCH 9608 PTXは、その強力な機能と長期的な信頼性により、半導体業界で広く使用されているエッチャーまたはアッシャーです。高精度、高速、生産レベルのエッチングまたはアッシング用に設計されています。LAM RESEARCH A9608 PTXには、最先端のモーションコントロールを備えた完全自動化されたプロセスシーケンスなどの高度な機能が搭載されています。エッチャーは、シーケンシャルパタリングなどの複雑なマルチステップエッチングプロセスに適しており、フェーズ間を素早く正確に移動できます。9608 PTXは、リセッシング、メモリ深度掘削、パターニングなどの生産レベルのプロセスにも適しています。A9608 PTXには独自の自動基板ローディング装置が搭載されており、迅速な工具準備と基板処理が可能です。このシステムは、エッチャーが温度制御やパターン認識などの基板エッチング中にピーク効率で動作することを保証するために、迅速かつ効率的な動作を可能にします。LAM RESEARCH A 9608 PTXには、自動的にエラーや誤動作をチェックする自己診断ユニットが内蔵されており、必要に応じてタイムリーなメンテナンスと修理が可能です。LAM RESEARCH A9608 PTXにはポリシリコンウェハエッチングマシンと高速ウェハハンドラが搭載されており、ラボ内の基板の高速かつ簡単に積み降ろしができるように設計されています。エッチャーには、高精度の光学位置決めツールと4軸アセットが装備されており、装甲と傾斜角度の正確なアライメントを可能にし、正確で再現性のあるエッチング結果を保証します。9608 PTXは、高精度の光学位置決めモデル、4軸アライメント装置、高速ウェハハンドラにより、さまざまなエッチングまたはアッシング操作が可能です。A9608 PTXは、プロセスの再現性と操作の容易さのために設計された、信頼性の高いツールです。自動化された自己診断ツールを提供することで、運用コストの削減に貢献しながら、優れた品質、繰り返し可能な結果を提供します。