中古 LAM RESEARCH A 9608 PTX #9217816 を販売中
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ID: 9217816
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Metal etcher, 8"
Integrated gas panel
Mainframe:
Alliance 6 rainbow standalone
TCP Standalone
Alliance A2
Alliance A4
Alliance A6
Chamber:
PM 1 / Microwave
PM 2 / 9600PTX
PM 3 / 9600PTX
PM 4 / Microwave
PM 5 / Aligner
PM 6 / Cool station
Box 4:
Electrostatic chuck
Turbo pump on process chamber
VAT65 Turbo gate valve
Endpoint detection system
Endpoint type: Photodiode
CD Rom manuals included
Alliance:
MAG7 Robot
Dual blade
VCE6
VCE: Rotation
VCE Seal: Dynamic seal
Signal lamp tower
Heated gate valve (PM2, PM3)
Turbo pump:
PM 2 / SEIKO SEIKI / H1303CV3
PM 3 / SEIKO SEIKI / H1303CV3
RF / Microwave generator:
PM 1 Top / MKS / CPS
PM 2 Top / ADVANCED ENERGY / RFG 1250
PM 2 Bottom / ADVANCED ENERGY / RFG1250 HALO
PM 3 Top ADVANCED ENERGY / RFG 1250
PM 3 Bottom / ADVANCED ENERGY / RFG 1250 HALO
PM 4 Top / MKS / CPS
GAS:
Make / Model / Gas / Flow
TYLAN / FC-2950MEP5 / N2 / 1000
TYLAN / FC-2950MEP5 / O2 / 5000
STEC / - / BCL3 / -
STEC / - / CL2 / -
TYLAN / FC-2950MEP5 / N2 / 200
TYLAN / FC-2950MEP5 / O2 / 200
TYLAN / FC-2950MEP5 / CHF3 / 100
TYLAN / FC-2950MEP5 / AR / 50
TYLAN / FC-2950MEP5 / BCL3 / 200
TYLAN / FC-2950MEP5 / CL2 / 200
TYLAN / FC-2950MEP5 / N2 / 200
TYLAN / FC-2900M / O2 / 200
TYLAN / FC-2950MEP5 / CHF3 / 100
TYLAN / FC-2950MEP5 / AR / 50
TYLAN / FC-2950MEP5 / N2 / 1000
TYLAN / FC-2950MEP5 / O2 / 5000
1998 vintage.
LAM RESEARCH A 9608 PTXは、正確な血漿化学蒸着（CVD）エッチングを提供するように設計された異方性エッチャー/アッシャーです。これは、高度なリソグラフィおよびプラズマ強化化学蒸着（PECVD）プロセスのための非常に求められているツールとなっています。超高精度、再現性、均一性を備えたウェーハの高品質エッチングに使用され、ナノメートルまでの特長サイズに対応します。LAM RESEARCH A9608 PTXは、社内生産工具交換（PTX）エッチングプロセスの業界標準です。生産工具交換（PTX）と同じプロセス制御と再現性を提供し、最も厳しいプロセス条件で優れたエッチング特性を提供します。この装置は、シリコン、金属合金、窒化物、酸化物など、さまざまな基材をエッチングするための非常に広いプロセスウィンドウを提供します。9608 PTXは、真空システムなしで金属の高度な湿式化学エッチングをサポートします。これは、等方性、方向性、および非方向エッチングを含む精密乾燥プラズマエッチング機能を提供します。PTX A9608、高出力RFジェネレータ、可変周波数ジェネレータ、プログラム可能な多軸ガス供給サブシステム、および高度な熱均一サブシステムを備えています。これにより、エッチング選択性やステップカバレッジなどのプロセスパラメータを正確に制御およびチューニングし、優れた機能制御を実現できます。また、複数の画像キャプチャ光学とビデオオプションを備えた高解像度検査ユニットを備えています。LAM RESEARCH 9608 PTXは信頼性が高く効率的であり、プロセス要件に関係なくお客様を満足させる幅広い構成に恵まれています。統合されたプロセス制御ソフトウェアパッケージにより、リアルタイムエッチング時にすべてのプロセスパラメータを監視でき、メンテナンス性が低くなります。このマシンは、最大8つの基板のバッチ処理をサポートすることもできます。LAM RESEARCH A9608 PTXは、アプリケーションに簡単にインストールでき、汎用性が高く、異方性ドライエッチング、湿式化学、二フュージョン酸化など、さまざまなエッチングプロセスをサポートします。信頼性が高く、最大8つの測定値をバッチエッチングすることができます。プラズマソースは、基板の過剰エッチングがないことを確認するための自動エンドポイント検出ツールを備えています。調節可能なガスフローにより、基板タイプに関係なくエッチング速度の均一性が保証され、リワーク数が少なく、収率が高く、サイクル時間が短縮されます。ナノテクノロジー業界向けの強力で高効率なエッチングツールで、幅広い用途でご利用いただけます。
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